[發明專利]板材平坦度矯正設備及其操作方法

有效

• 申請號: 201210267193.8
• 申請日: 2012-07-30
• 公開（公告）號: CN103567257A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;高建
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B21D1/06
• 分類號: B21D1/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術領域

本發明涉及一種液壓板材平坦度矯正設備及其操作方法。

背景技術

通常靶材組合是由符合濺射性能的靶材和具有一定強度的背板構成。靶材自身體積較大，且容易變形破碎，為了能使靶材很好地固定在設備上，通常將靶材焊接到背板后再安裝到設備上。背板起到支撐固定作用，并具有傳導熱量的功效。在濺射過程中，靶材組合通常在200°C至500°C的溫度條件下工作。工作時，靶材組合的一側充以冷卻水強冷，而另一側則處于10^-9Pa的高真空環境下，因而靶材組合兩側存在巨大的壓力差。在如此惡劣的工作環境下，背板易發生變形。另外，在反復使用過程，由于不正確的操作、移動和材質老化等原因，也會導致背板變形。如果將背板變形的靶材組合安裝到設備上，使用中就可能導致靶材脫離背板，造成機臺內異常放電，微塵數量超標等問題，嚴重的造成產品和設備的報廢。因而，在焊接之前對靶材組合的背板進行矯正是十分必要的。

雖然現在國內外靶材組合加工廠商大部分都有背板矯正用的油壓設備，但由于這些油壓設備僅僅采用單柱下壓方式，基本上只能對中小型靶材組合(面積500mm×500mm以下)所使用的背板進行矯正。

目前液晶顯示面板市場上32英寸、42英寸和50英寸等大型液晶顯示面板逐漸成為消費主流。液晶顯示面板尺寸的增大要求液晶顯示面板制作過程中用到的靶材組合的尺寸相應的增大，因而要求背板的尺寸也增大。大尺寸的背板在使用過程中會發生各種復雜的變形，例如鼓起、扭曲等變形。為了將靶材組合良好的固定在設備上，對靶材背板的平坦度要求也越來越高。利用現有矯正設備對大型背板(面積在500mm×500mm以上)進行矯正，矯正后平坦度僅能達到1.0mm以上，而大型背板對平坦度要求是在0.5mm以下，現有矯正設備不能滿足大型背板平坦度所需要求。同時，現有設備施壓位置不可調整，使用現有設備和技術對靶材組合的背板進行矯正時，需要頻繁的移動背板的位置，而大型背板的自重較大（100kg以上），在移動過程中存在人員安全隱患，同時存在對背板表面造成劃傷，碰傷等危險。

發明內容

有鑒于此，發明人提供一種矯正設備，以解決現有技術無法矯正大型靶材組合背板，無法矯正靶材背板復雜變形的問題。

本發明提供一種板材平坦度矯正設備，其特征在于，包括：

液壓控制系統；

矯正臺，具有用于放置被矯正板材的矯正面；

上板，與所述矯正臺相對設置，使得其與所述矯正臺之間形成矯正空間；

施壓柱，設置在所述矯正空間內，所述施壓柱一端安裝于所述上板，另一端能夠在柱內部液壓作用下壓向所述矯正臺，所述施壓柱包括第一施壓柱及第二施壓柱，所述第二施壓柱能夠移至所述被矯正板材多個位置進行施壓。

可選的，所述第一施壓柱和所述第二施壓柱都包括有細段和粗段，所述細段和所述粗段以密封、可滑動的方式套合，并且所述細段和所述粗段內部中空連接形成體積可變的腔體以便液體壓入和抽出；所述細段側部帶有側壁導管；所述側壁導管連接至所述液壓控制系統。

可選的，所述上板設置有位于其內部邊緣的三根固定橫梁和連接于所述固定橫梁之間的一根滑動橫梁；三根所述第一施壓柱通過滑動裝置各自與一根所述固定橫梁連接，使得所述第一施壓柱可沿其所連接的所述固定橫梁的軸向運動；所述第二施壓柱通過滑動裝置與所述滑動橫梁連接，使得所述第二施壓柱既能夠沿所述滑動橫梁的軸向運動，又能夠隨所述滑動橫梁的滑動方向運動。

可選的，所述上板通過多個立柱與所述矯正臺固定連接。

可選的，所述多個立柱分散設置在所述矯正臺的邊角區域。

可選的，所述矯正面通過所述矯正空間的側面暴露在外，所述矯正空間的側面為連接所述矯正臺與所述上板的側面。

可選的，所述矯正臺固定于底座上。

可選的，所述第一施壓柱和所述第二施壓柱的所述細段和所述粗段的外形為圓柱形或者四方柱形。

可選的，所述上板內部邊緣還有一根固定橫梁，該固定橫梁與另外三根所述固定橫梁首尾相連形成穩定架構。

本發明還提供了一種如上所述的板材平坦度矯正設備的操作方法，其特征在于，包括：

將被矯正板材放置于所述矯正面；

移動至少一根所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材上方合適位置，控制所述液壓控制系統使該至少一根施壓柱下壓，固定所述被矯正板材；