[發明專利]具有門閂結構的前開式晶圓盒有效
| 申請號: | 201210265938.7 | 申請日: | 2012-07-26 |
| 公開(公告)號: | CN103165499A | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 王建峰;邱銘隆;呂紹瑋;徐子正 | 申請(專利權)人: | 家登精密工業股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人: | 壽寧;張華輝 |
| 地址: | 中國臺灣新北*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 門閂 結構 前開式晶圓盒 | ||
1.一種前開式晶圓盒,包括一盒體,該盒體的一側面形成一開口供多個晶圓的輸入及輸出,該盒體開口處的一相對邊緣各配置至少一對插孔,以及一門體,該門體的一相對邊緣各配置至少一對與該對插孔相應的閂孔,該門體與該盒體的該開口相結合,并用于保護該盒體內部的該多個晶圓,其特征在于,該前開式晶圓盒還包括:
一對門閂結構,配置于該門體,每一該門閂結構包括:
一圓形轉盤,具有一第一表面及一第二表面,在該第一表面上配置一轉動部,在該第二表面的中央位置配置一制動部;
至少一對牽動件,形成于該圓形轉盤的邊緣上的相對兩端;及
一對滑動裝置,分別配置于該圓形轉盤的邊緣的相對兩側,每一該滑動裝置具有靠近該圓形轉盤的第一端以及與該第一端相對的第二端,并在該第一端形成一勾狀嵌合部及一滑動部,以及在第二端形成至少一插入閂,且該插入閂與該門體的閂孔相對應,其中,該勾狀嵌合部勾制住該牽動件,使該滑動裝置嵌設于該圓形轉盤上;
通過該制動部控制該圓形轉盤的轉動,使得該滑動裝置的該插入閂往返于該對插孔與該對閂孔中。
2.根據權利要求1所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該門體是包括一殼體及一封板,該門體以該殼體的外表面與該盒體的該開口相結合;以及該圓形轉盤的該第一表面面向該殼體的內表面,該圓形轉盤的該第二表面面向該封板,其中該殼體具有一凹陷區域、二第一平臺及二第二平臺,該凹陷區域位于該殼體的外表面的中間,該二第一平臺分別位于該凹陷區域兩側并位于該殼體的外表面,該二第二平臺位于該殼體的內表面并分別與該二第一平臺相對。
3.根據權利要求2所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該二第二平臺更分別配置一邊壁,該二邊壁是分別從該對閂孔處圍繞該對門閂結構的周圍,該二邊壁分別配置一膠條,使該殼體與該封板結合,該二第二平臺分別可在該門體內形成一封閉區域。
4.根據權利要求2所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該封板進一步配置一卡勾結構,該門體的殼體的內側進一步配置一卡扣溝槽,該卡勾結構可扣入該門體的卡扣溝槽中,該門體的邊緣進一步配置至少一門邊滾輪,且該門邊滾輪在該封板及該殼體組合后,凸出該門體的邊緣。
5.根據權利要求2所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該門閂結構進一步包含至少一導正結構,用于將每一該滑動裝置框設于該門閂結構所位處之該二第二平臺上,該導正結構的材質為一耐磨材質。
6.根據權利要求5所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該滑動裝置進一步配置至少一滑動滾輪,且該滑動滾輪與該導正結構相對應。
7.根據權利要求1所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該牽動件及該限制軸為軸承裝置,在該牽動件上配置一扣環。
8.根據權利要求1所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該滑動裝置的該插入閂進一步配置至少一閂滾輪。
9.一種前開式晶圓盒,其特征在于,主要包括一盒體,該盒體的一側面形成一開口可供多個晶圓的輸入及輸出,而該盒體開口處的一相對邊緣各配置至少一對插孔,以及一門體,該門體之一相對邊緣各配置至少一對與該對插孔相應的閂孔,該門體與該盒體的該開口相結合,并用于保護該盒體內部的該多個晶圓,其特征在于,該前開式晶圓盒還包括:
一對門閂結構,配置于該門體,每一該門閂結構包括:
一圓形轉盤,具有一第一表面及一第二表面,在該第一表面上配置一轉動部,在該第二表面的中央位置配置一制動部;
至少一對牽動件,形成于該圓形轉盤的邊緣上的相對兩端;
一對滑動裝置,分別配置于該圓形轉盤的邊緣的相對兩側,每一該滑動裝置具有靠近該圓形轉盤的第一端以及與該第一端相對的第二端,并在該第一端形成一勾狀嵌合部及一滑動部,以及在第二端形成至少一插入閂,且該插入閂與該門體的閂孔相對應,其中,該勾狀嵌合部勾制住該牽動件,使該滑動裝置嵌設于該圓形轉盤上,且在該滑動裝置上配置至少一滑動滾輪;及
一限制結構,包括至少一對限制軸,分別配置于該圓形轉盤的該制動部兩側,及一彈性限制框,具有一對位于相對兩端的固定部及一對分別與這些固定部連接的限制框,該對固定部固定于該門體上,該對限制框將該對限制軸限制在該限制框內;
通過該制動部控制該圓形轉盤的轉動,使得該滑動裝置的該插入閂往返于該對插孔與該對閂孔中。
10.根據權利要求9所述的前開式晶圓盒,其特征在于,其中該牽動件及該限制軸為軸承裝置,在該牽動件及該限制軸上配置一扣環,該限制框為一彎曲彈性結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





