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[發(fā)明專利]采用LCOS的激光微加工系統(tǒng)及其加工方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210265415.2 申請(qǐng)日: 2012-07-30
公開(kāi)(公告)號(hào): CN102896421A 公開(kāi)(公告)日: 2013-01-30
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 沈明亞;趙裕興 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 沈明亞;蘇州德龍激光股份有限公司
主分類號(hào): B23K26/06 分類號(hào): B23K26/06;B23K26/067;B23K26/00
代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210 代理人: 唐紉蘭;沈國(guó)安
地址: 215021 江蘇*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 采用 lcos 激光 加工 系統(tǒng) 及其 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種采用LCOS的激光微加工系統(tǒng),其特征在于:所述系統(tǒng)包含有用于產(chǎn)生激光的激光發(fā)生器(1),所述激光發(fā)生器(1)發(fā)出的激光的光路上依次設(shè)置有擴(kuò)束鏡(2)、LCOS(3)、縮束鏡(5)和聚焦鏡(6),所述LCOS(3)與一計(jì)算機(jī)處理器(4)相連。

2.如權(quán)利要求1所述一種采用LCOS的激光微加工系統(tǒng),其特征在于:射入LCOS(3)的激光經(jīng)LCOS(3)反射后射向縮束鏡(5)。

3.如權(quán)利要求1所述一種采用LCOS的激光微加工系統(tǒng),其特征在于:射入LCOS(3)的激光穿透LCOS(3)后射向縮束鏡(5)。

4.如權(quán)利要求1所述一種采用LCOS的激光微加工系統(tǒng)的加工方法,其特征在于:所述方法包含有以下步驟:

步驟一、激光發(fā)生器(1)發(fā)出的激光經(jīng)擴(kuò)束鏡(2)后入射到LCOS(3)上;

步驟二、與LCOS(3)相連的計(jì)算機(jī)處理器(4)通過(guò)計(jì)算機(jī)程序改變加載在LCOS(3)的液晶層上的電壓,從而改變液晶層的折射率分布,使得激光改變前進(jìn)光路的方向或改變其強(qiáng)度;

步驟三、射出LCOS(3)的激光經(jīng)縮束鏡(5)和聚焦鏡(6)后射向待加工件(7)。

5.如權(quán)利要求4所述一種采用LCOS的激光微加工系統(tǒng)的加工方法,其特征在于:所述激光發(fā)生器(1)發(fā)出多個(gè)激光波束或者將一束激光分為多個(gè)激光波束,所述LCOS(3)分為多個(gè)獨(dú)立區(qū)域,多個(gè)激光束分別射向LCOS(3)上的不同區(qū)域。

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