[發(fā)明專利]一種柔性多參數(shù)傳感器及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210265331.9
• 申請(qǐng)日: 2012-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN102749157A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦毅恒;明安杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心
• 主分類號(hào): G01L1/00
• 分類號(hào): G01L1/00;G01N27/22;G01K7/16
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.一種柔性多參數(shù)傳感器，其特征是：包括柔性襯底（7），所述柔性襯底（7）的上方設(shè)有探測敏感區(qū)，所述探測敏感區(qū)包括位于柔性襯底（7）上方的壓力敏感層（6）、濕度敏感層（2）及溫度敏感層（5），所述濕度敏感層（2）覆蓋于壓力敏感層（6）上，溫度敏感層（5）覆蓋于濕度敏感層（2）上，溫度敏感層（5）上覆蓋有保護(hù)層（13）；探測敏感區(qū)內(nèi)設(shè)有若干用于探測外界環(huán)境濕度的接觸窗口（9），所述接觸窗口（9）貫通探測敏感區(qū)內(nèi)相應(yīng)的保護(hù)層（13）與溫度敏感層（5），并延伸到濕度敏感層（2）的表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性多參數(shù)傳感器，其特征是：所述柔性襯底（7）上設(shè)有柔性基板平滑層（4），壓力敏感層（6）通過柔性基板平滑層（4）設(shè)置在柔性襯底（7）上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性多參數(shù)傳感器，其特征是：所述探測敏感區(qū)包括第一區(qū)域（14）、第二區(qū)域（15）、第三區(qū)域（16）及第四區(qū)域（17），第一區(qū)域（14）與第三區(qū)域（16）為對(duì)稱區(qū)域，第二區(qū)域（15）與第四區(qū)域（17）為對(duì)稱區(qū)域，第一區(qū)域（14）、第二區(qū)域（15）、第三區(qū)域（16）及第四區(qū)域（17）依次連接后形成矩形狀區(qū)域；第一區(qū)域（14）、第二區(qū)域（15）、第三區(qū)域（16）及第四區(qū)域（17）內(nèi)的敏感區(qū)域通過隔離溝槽（10）隔離后均呈矩形鋸齒狀分布；探測敏感區(qū)內(nèi)的壓力敏感層（6）、溫度敏感層（5）分別與探測敏感區(qū)外的壓力敏感層接觸板（12）、溫度敏感層接觸板（11）連接，所述溫度敏感層接觸板（11）、壓力敏感層接觸板（12）均位于柔性襯底（7）的上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性多參數(shù)傳感器，其特征是：所述探測敏感區(qū)內(nèi)設(shè)有印刷光刻偽結(jié)構(gòu)（3），所述印刷光刻偽結(jié)構(gòu)（3）貫通探測敏感區(qū)內(nèi)的保護(hù)層（13）、溫度敏感層（5）、濕度敏感層（2）及壓力敏感層（6）直至的表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性多參數(shù)傳感器，其特征是：所述柔性襯底（7）的材料為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚對(duì)萘二甲酸乙二酯、聚醚醚酮、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚酰亞胺、環(huán)氧樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對(duì)二甲苯、聚對(duì)乙烯基苯酚、苯并環(huán)丁烯、聚醚砜、光刻膠、硅橡膠中的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性多參數(shù)傳感器，其特征是：所述壓力敏感層接觸板（12）與壓力敏感層（6）為同一制造層，溫度敏感層接觸板（11）與溫度敏感層（5）為同一制造層。

7.一種柔性多參數(shù)傳感器的制造方法，其特征是，所述柔性多參數(shù)傳感器制造方法包括如下步驟：

（a）、提供柔性襯底（7），并在柔性襯底（7）上依次設(shè)置壓力敏感層（6）、濕度敏感層（2）、溫度敏感層（5）及印刷光刻膠層（1）；

（b）、利用圖形化和腐蝕的工藝，依次對(duì)印刷光刻膠層（1）、溫度敏感層（5）、濕度敏感層（2）及壓力敏感層（6）進(jìn)行圖形化處理，以在柔性襯底（7）上形成所需的探測敏感區(qū)與保護(hù)層（13），所述探測敏感區(qū)包括若干用于探測外界環(huán)境濕度的接觸窗口（9），所述接觸窗口（9）貫通探測敏感區(qū)內(nèi)相應(yīng)的保護(hù)層（13）與溫度敏感層（5），直至濕度敏感層（2）的表面。