[發(fā)明專利]一種液晶顯示基板及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210262726.3 | 申請日： | 2012-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN102759832A | 公開（公告）日： | 2012-10-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬群剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1362 | 分類號： | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 210033 江蘇省南京市仙林大道科*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 液晶顯示 及其 制造 方法 | ||
1.一種液晶顯示基板，包括：掃描線；與掃描線交叉的數(shù)據(jù)線；以及由所述掃描線和數(shù)據(jù)線限定的像素單元，所述像素單元內(nèi)包括薄膜晶體管和像素電極，其特征在于：所述薄膜晶體管包括：有源層、與掃描線連接的柵極、與所述數(shù)據(jù)線電性連接的源極、以及與像素電極連接的漏極，其中在數(shù)據(jù)線上設(shè)有第一接觸孔，所述有源層的兩側(cè)分別開設(shè)有第二接觸孔和第三接觸孔，所述源極為連接第一接觸孔和第二接觸孔的連接線，所述漏極為像素電極與第三接觸孔的連接線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于：所述源極、漏極及像素電極位于同一層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于：所述有源層位于掃描線與數(shù)據(jù)線之間的層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于：所述數(shù)據(jù)線位于掃描線與有源層之間的層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于：所述數(shù)據(jù)線與有源層由不同的光刻工藝制造且位于同一層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于，還包括三層絕緣層，分別為：位于掃描線所在層之上的第一絕緣層、覆蓋有源層的第二絕緣層、以及位于數(shù)據(jù)線所在層之上的第三絕緣層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于，還包括三層絕緣層，分別為：位于掃描線所在層之上的第一絕緣層、位于數(shù)據(jù)線和有源層之間的第二絕緣層，覆蓋有源層的第三絕緣層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示基板，其特征在于，還包括兩層絕緣層，分別為：位于掃描線所在層之上的第一絕緣層、位于有源層和第一絕緣之間的第二絕緣層。
9.一種液晶顯示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：
A)在基板上形成第一層金屬線，并形成掃描線、與掃描線連接的柵極，接著形成一層第一絕緣層；
B）在第一絕緣層上形成有源層圖案，接著形成一層第二絕緣層；
C）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，形成第二層金屬線，并形成數(shù)據(jù)線，接著形成一層第三絕緣層；
D）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，在數(shù)據(jù)線上形成第一接觸孔、在有源層的兩側(cè)分別形成第二、第三接觸孔；
E）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，進(jìn)行透明導(dǎo)電層成膜，并在第一接觸孔和第二接觸孔之間形成連接線、以及與第三接觸孔連接的像素電極。
10.一種液晶顯示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：
A)在基板上形成第一層金屬線，并形成掃描線、與掃描線連接的柵極，接著形成一層第一絕緣層；
B）在第一絕緣層上形成有源層圖案；
C）在第一絕緣層上形成第二層金屬線，并形成數(shù)據(jù)線，接著形成第二絕緣層；
D）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，在數(shù)據(jù)線上形成第一接觸孔、在有源層的兩側(cè)分別形成第二、第三接觸孔；
E）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，進(jìn)行透明導(dǎo)電層成膜，并在第一接觸孔和第二接觸孔之間形成連接線、以及與第三接觸孔連接的像素電極。
11.一種液晶顯示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：
A)在基板上形成第一層金屬線，并形成掃描線、與掃描線連接的柵極，接著形成一層第一絕緣層；
B）在第一絕緣層上第二層金屬線，并形成數(shù)據(jù)線；
C）在第一絕緣層上形成有源層圖案，接著形成第二絕緣層；
D）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，在數(shù)據(jù)線上形成第一接觸孔、在有源層的兩側(cè)分別形成第二、第三接觸孔；
E）在形成上述圖案的基礎(chǔ)上，進(jìn)行透明導(dǎo)電層成膜，并在第一接觸孔和第二接觸孔之間形成連接線、以及與第三接觸孔連接的像素電極。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11任一所述的液晶顯示基板的制造方法，其特征在于：所述數(shù)據(jù)線為雙層結(jié)構(gòu)，其下層為導(dǎo)電能力的金屬，上層為抗氧化金屬。
13.一種液晶顯示基板，其特征在于，包括：掃描線；與掃描線交叉的數(shù)據(jù)線；以及由所述掃描線和數(shù)據(jù)線限定的像素單元，所述像素單元內(nèi)包括薄膜晶體管和像素電極，其特征在于：所述薄膜晶體管包括：有源層、與掃描線連接的柵極、源極、以及與像素電極連接的漏極，其中在有源層上開設(shè)有接觸孔，所述源極與所述數(shù)據(jù)線由同一金屬層制造形成，所述漏極為像素電極與接觸孔的連接線。
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G02F 用于控制光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學(xué)；光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學(xué)
G02F1-01 .對強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
