[發明專利]藍寶石單晶生長裝置無效
| 申請號: | 201210262668.4 | 申請日: | 2012-07-26 |
| 公開(公告)號: | CN102899717A | 公開(公告)日: | 2013-01-30 |
| 發明(設計)人: | 郭晚錫;金大淵 | 申請(專利權)人: | 株式會社KCC |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/20 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 謝順星;張晶 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 生長 裝置 | ||
1.一種藍寶石單晶生長裝置,其為在氧化鋁熔液中接觸晶種后使其上升,從而使藍寶石單晶生長的藍寶石單晶生長裝置,其特征在于,所述藍寶石單晶生長裝置包括:
第一腔室,其容納氧化鋁,所述氧化鋁在其中熔融,所述第一腔室的上面形成有插入口;
第二腔室,其設置在所述第一腔室的上部,以與所述第一腔室的插入口接通;
晶種桿,其通過所述第二腔室下降至所述第一腔室內,或從所述第一腔室上升,所述晶種桿的終端設置有所述晶種;以及
腔室阻隔部,其設置在所述第二腔室的下端,開閉所述插入口;
為了替換所述晶種,當所述晶種桿的終端上升并位于所述第二腔室的內部時,所述腔室阻隔部關閉所述插入口。
2.如權利要求1所述的藍寶石單晶生長裝置,其特征在于,所述第一腔室包括:
坩堝收容容器,其位于所述第一腔室的內部;
坩堝,其位于所述坩堝收容容器的內部并裝有所述氧化鋁;以及
加熱部,其被配置為包圍所述坩堝收容容器,并使所述氧化鋁熔融而形成所述氧化鋁熔液。
3.如權利要求1所述的藍寶石單晶生長裝置,其特征在于,所述第二腔室包括氣體管線,所述氣體管線從所述第二腔室的外周面延長,并向所述第二腔室的內部注入可控氣氛。
4.如權利要求2所述的藍寶石單晶生長裝置,其特征在于,所述坩堝收容容器由隔熱材料構成。
5.如權利要求2所述的藍寶石單晶生長裝置,其特征在于,所述加熱部為高頻線圈。
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