[發(fā)明專利]用于檢測電路的系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210261992.4
• 申請日: 2012-07-26
• 公開（公告）號: CN102901923A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設計）人: 鄭森秀;R·馬丁
• 申請（專利權）人: 烽騰科技有限公司
• 主分類號: G01R31/308
• 分類號: G01R31/308;G01R31/309
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，包括：

缺陷探測子系統(tǒng)；以及

附加子系統(tǒng)，可在除檢測期間以外的時間內(nèi)工作，用于對接受檢測的電路施加時變電壓并用于感測所述電路中各種不同潛在缺陷位置處的電性狀態(tài)的差異。

2.如權利要求1所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以提供對所述電路中的缺陷位置的指示。

3.如權利要求1或2所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以在對所述電路所界定的座標系中提供對缺陷位置的登記。

4.如權利要求1或2中的任一項所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以提供適用于提高所述電路的檢測對比度的輸出。

5.如權利要求1或2中的任一項所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，還包括調(diào)制器，所述調(diào)制器具有校準模式及缺陷探測模式，當所述時變電壓正施加至所述電路時，所述調(diào)制器可在所述缺陷探測模式中工作。

6.如權利要求5所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)在其校準操作期間可操作以對接受檢測的所述電路的多個潛在缺陷位置施加電壓。

7.如權利要求6所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述缺陷探測子系統(tǒng)包括照相機，并可感測所述調(diào)制器上不同位置處的光強度，所述不同位置對應于接受檢測的所述電路中的所述各種不同潛在缺陷位置。

8.如權利要求7所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以建立所述照相機的電壓輸出與在所述調(diào)制器上的所述不同位置處的所感測光強度之間的關系。

9.如權利要求6所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以通過以下方式提供對接受檢測的所述電路上所述各種不同潛在缺陷位置處的缺陷位置的指示：當對所述電路上的所述各種不同潛在缺陷位置施加所述電壓時，感測與所述各種不同潛在缺陷位置相對應的所述調(diào)制器上的不同位置處的所述光強度，并比較所述調(diào)制器上所述不同位置處的所述所感測光強度。

10.如權利要求5所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述缺陷探測子系統(tǒng)包括照相機，并可操作以感測與接受檢測的所述電路中所述各種不同潛在缺陷位置相對應的所述調(diào)制器上的不同位置處的光強度。

11.如權利要求10所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以建立所述照相機的電壓輸出與所述調(diào)制器上所述不同位置處的所感測光強度之間的關系。

12.如權利要求10所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以通過以下方式提供對接受檢測的所述電路上所述各種不同潛在缺陷位置處的缺陷位置的指示：當對所述電路上的所述各種不同潛在缺陷位置施加所述電壓時，感測與所述各種不同潛在缺陷位置相對應的所述調(diào)制器上的不同位置處的所述光強度，并比較所述調(diào)制器上所述不同位置處的所述所感測光強度。

13.如權利要求5所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)可操作以通過以下方式提供對接受檢測的所述電路上所述各種不同潛在缺陷位置處的缺陷位置的指示：當對所述電路上的所述各種不同潛在缺陷位置施加所述電壓時，感測與所述各種不同潛在缺陷位置相對應的所述調(diào)制器上的不同位置處的所述光強度，并比較所述調(diào)制器上所述不同位置處的所述所感測光強度。

14.如權利要求1所述的用于檢測電路的系統(tǒng)，其特征在于，所述附加子系統(tǒng)在其校準操作期間可操作以對接受檢測的所述電路的多個位置施加電壓。

15.一種用于檢測電路的方法，所述方法包括：

校準步驟，包括：

對接受檢測的電路施加時變電壓；以及

感測所述電路中各種不同潛在缺陷位置處的電性狀態(tài)的差異；以及

檢測步驟。

16.如權利要求15所述的用于檢測電路的方法，其特征在于，所述檢測步驟還包括對接受檢測的所述電路施加所需的時變電壓。

17.如權利要求15或16所述的用于檢測電路的方法，其特征在于，所述校準步驟還包括對接受檢測的所述電路的多個位置施加電壓。