[發明專利]曝光對位方法

有效

• 申請號: 201210261832.X
• 申請日: 2012-07-26
• 公開（公告）號: CN102749814A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 李炬;李松凌;肖麗;王金鵬;王安建;佘瑞峰
• 申請（專利權）人: 四川聚能核技術工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 李世喆

技術領域

本發明涉及機械領域，具體涉及一種曝光對位方法。

背景技術

（PCB板）制造工藝中，最關鍵的工序之一就是將底片圖像轉移到覆銅箔基材上。為了導線的連通，PCB板的上下圖形必須有準確的位置關系，要求上下底片和PCB板三者間互相對位。它們的對位精度、速度決定了PCB板的生產精度和效率。

現有曬架中，每個曬架上有兩個夾持覆銅箔板的PIN。對位系統控制兩個PIN在X、Y方向移動。曬架對位時，先把上下底片和覆銅箔板重疊后套入曬架PIN上，操作者通過顯視器把上下底片和覆銅箔板三者的點圈孔位置同心，關閉上蓋將上底片吸附于上玻璃。打開上蓋，把覆銅箔板板取出，把底片托板放置在下底片上，用透明膠帶把下底片和托板粘接成一體，關閉上蓋，托板帶著下底片與上底片對位，當上下底片的靶點偏差滿足要求時，下玻璃開啟真空吸附下底片。去除膠帶，取出托板，完成上下底片的對位。曬架在生產過程中，上下底片不可移動對位，靠曬架上的定位銷來保證上下底片的重復精度。兩個PIN夾持覆銅箔板移動，完成和上下底片的對位功能。底片裝載程序復雜，對位精度低。

發明內容

本發明提供一種曝光對位方法，能夠提高底片對位和覆銅箔板對位的效率。

本發明提供了一種曝光對位方法，適用于曝光機，包括如下步驟：

A.根據放入曬架中的上底片和下底片的位置，確定所述上底片、下底片之間的第一位置偏差；

B.由所述第一位置偏差確定底片移動值，根據所述底片移動值，以所述上底片和所述下底片其中之一為基準，驅動另一個至所述上底片、所述下底片對位；

C.在所述上底片、所述下底片對位結束后，將所述上底片、所述下底片進行位置鎖定；

D.根據放入被位置鎖定的所述上底片和所述下底片之間的所述覆銅箔板的位置，確定所述覆銅箔板與所述上底片或所述下底片之間的第二位置偏差；

E.由所述第二位置偏差確定覆銅箔板移動值，根據所述覆銅箔板移動值，以所述上底片或所述下底片為基準，驅動所述覆銅箔板至所述覆銅箔板與所述上底片、所述下底片對位。

在步驟A之前，所述曝光對位方法優選為進一步包括：在所述曬架上設置覆銅箔板驅動設備；在所述曬架上設置底片驅動設備；

則，

在步驟B中驅動的動力優選為來自于所述底片驅動設備；在步驟E中驅動的動力優選為來自于所述覆銅箔板驅動設備。

所述底片驅動設備，優選為用于輸出所述曬架的底片安裝框所在平面上的兩個以上方向的驅動；

所述覆銅箔板驅動設備，優選為用于輸出所述覆銅箔板所在平面上的兩個以上方向的驅動。

在步驟A之前，所述曝光對位方法優選為進一步包括：在所述底片驅動設備和所述覆銅箔板驅動設備上設置對位感應器和控制器；

則，

所述步驟A優選為包括：通過所述對位感應器感應所述第一位置偏差；所述步驟B優選為包括：所述控制器從所述對位感應器獲取所述第一位置偏差；

所述步驟D優選為包括：通過所述對位感應器感應所述第二位置偏差；所述步驟E優選為包括：所述控制器從所述對位感應器獲取所述第二位置偏差。

所述步驟A優選為包括：所述對位感應器采用自動感應的感應方式。

所述對位感應器優選為電荷耦合元件CCD。

所述步驟B和所述步驟E優選為包括：采用電機帶動螺母或螺桿轉動的方式進行所述驅動。

在步驟E之前，所述曝光對位方法優選為進一步包括：通過曬架的底片安裝框的上框和下框的機械配合，將所述上框與所述下框間的移動保持在±8um的范圍內。

所述將所述上框與所述上框間的移動保持在±8um的范圍內優選為包括：限制所述上框在其所在平面內移動和轉動，僅使所述上框在其所在平面的垂直方向上進行上下移動。

所述機械配合優選為包括：球銷與球套的機械配合、和/或方銷和方套的機械配合。

通過本發明提供的曝光對位方法，能夠達到如下的有益效果：

1.本發明提供的曝光對位方法，首先放入上底片、下底片，確定二者之間的位置偏差，然后針對該位置偏差進行以兩個底片之一為基準調節另一個底片；然后將對位完畢的上底片、下底片鎖定后，將覆銅箔板放入上底片、下底片之間，確定覆銅箔板與上底片或下底片的位置偏差，然后針對該位置偏差以上底片或下底片為基準調節覆銅箔板，從而達到底片和覆銅箔板分別對位，獨立調節，使底片裝載簡單，對位易操作、準確性高。

2.本發明在上底片、下底片對位前，在曬架上安裝了底片驅動設備、覆銅箔板驅動設備，二者相互獨立操作，提高了對位的簡單性和易操作性。