[發明專利]太陽能電池表面絨面結構的檢測方法有效
| 申請號: | 201210259641.X | 申請日: | 2012-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN102779770A | 公開(公告)日: | 2012-11-14 |
| 發明(設計)人: | 王希軍 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人: | 王淑秋 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 表面 結構 檢測 方法 | ||
1.一種太陽能電池表面絨面結構的檢測方法,其特征在于包括下述步驟:
一、取兩片制作完表面絨面結構的太陽能電池(1、2)組成V形結構,兩片太陽能電池(1、2)之間的夾角為α,45°≤α≤135°;
二、將激光器(4)和面陣探測器(5)對稱放置在V形結構棱線(3)的上方,并且激光器(4)和面陣探測器(5)的光軸與棱線(3)的垂線(SO)之間的夾角為β,15°≤β≤60°,且使激光器(4)的光軸和面陣探測器(5)的光軸及棱線(3)的垂線(SO)三線處于V形槽的角平分面內;
三、利用激光器(4)出射的平行光束分別照射兩片太陽能電池(1、2)及V形結構棱線(3);兩片太陽能電池(1、2)散射的光束和V形結構棱線(3)平分光斑時散射的光束由面陣探測器(5)收集,得到激光散斑圖像數據,利用處理器(7)根據式(1)進行計算,得到比值R;
其中為激光束打在第一片太陽能電池(1)表面時面陣探測器(5)得到的散斑圖像的灰度平均值,為激光束打在第二片太陽能電池(2)表面時面陣探測器(5)得到的散斑圖像的灰度平均值,為V形結構棱線(3)平分光斑時面陣探測器(5)得到的散斑圖像的灰度平均值;
四、利用處理器(7)將R與標定值比較,若R大于標定值,則說明太陽能電池的轉換效率符合產品出廠標準。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池表面絨面結構的檢測方法,其特征在于步驟四中所述的符合產品出廠標準的標定值通過下述方法得到:
(1)、試驗時,不斷調整制作太陽能電池表面絨面結構的工藝參數,每調整一次工藝參數,制得一組太陽能電池,這樣即得到多組的太陽能電池;
(2)、將每次試驗得到一組太陽能電池中的兩片太陽能電池組成V形結構,兩片太陽能電池之間的夾角為α;
(3)、采用與上述方法中的步驟二、三相同的方法對太陽能電池進行檢測,得到一系列的比值R的實驗數據;
(4)、檢測各太陽能電池的轉換效率,找到轉換效率符合產品出廠標準的兩片太陽能電池,將這兩片太陽能電池對應的比值R作為標定值。
3.根據權利要求1所述的太陽能電池表面絨面結構的檢測方法,其特征在于步驟三中首先利用激光器(4)出射的平行光束照射其中一個太陽能電池,該太陽能電池散射的光束由面陣探測器(5)收集,得到第一組激光散斑圖像數據;然后移動激光器,激光器(4)出射的平行光束照射V形結構的棱線(3),此時棱線(3)平分激光散斑,散射的光束由面陣探測器(5)收集,得到第二組激光散斑圖像數據;最后移動激光器,激光器(4)出射的平行光束照射另一個太陽能電池,該太陽能電池散射的光束由面陣探測器(5)收集,得到第三組激光散斑圖像數據;利用三組激光散斑圖像數據進行計算,得到比值R。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





