[發明專利]自動光學檢測裝置無效
| 申請號: | 201210259431.0 | 申請日: | 2012-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN102759531A | 公開(公告)日: | 2012-10-31 |
| 發明(設計)人: | 林勇佑 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/88 | 分類號: | G01N21/88;G01N21/956 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 歐陽啟明 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 自動 光學 檢測 裝置 | ||
1.一種自動光學檢測裝置,其特征在于,包括:
基板承載平臺,用于承載被檢測基板;
傳感器固定平臺,設置在所述被檢測基板的上方;
圖像傳感器,設置在所述傳感器固定平臺上,用于對所述被檢測基板進行拍照;以及
背光源,設置在所述被檢測基板的下方,與所述圖像傳感器的位置相對應,用于照射所述被檢測基板的被檢測部分。
2.根據權利要求1所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述基板承載平臺上設置有一缺口部,所述背光源設置在所述缺口部內。
3.根據權利要求2所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述缺口部內還設置有用于提供托力給所述被檢測基板的吹風模塊,所述背光源設置在所述吹風模塊的上方。
4.根據權利要求3所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述吹風模塊根據所述被檢測基板的重量設定風壓。
5.根據權利要求3所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述背光源活動設置在所述缺口部內,所述背光源與所述傳感器固定平臺同步運動。
6.根據權利要求2所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述缺口部內還設置有用于承載所述被檢測基板的透明玻璃托板,所述背光源設置在所述透明玻璃托板的下方。
7.根據權利要求6所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述透明玻璃托板的上表面與所述基板承載平臺的上表面平齊。
8.根據權利要求6所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述背光源活動設置在所述缺口部內,所述背光源與所述傳感器固定平臺同步運動。
9.根據權利要求6所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述背光源固定設置在整個所述缺口部內。
10.根據權利要求6所述的自動光學檢測裝置,其特征在于,所述透明玻璃托板的上表面貼附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光貼片。
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