[發明專利]一種用于去除硅片表面污斑的清洗劑有效
| 申請號： | 201210257504.2 | 申請日： | 2012-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN102746953A | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發明（設計）人： | 高延敏 | 申請（專利權）人： | 江蘇科技大學 |
| 主分類號： | C11D1/83 | 分類號： | C11D1/83 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 樓高潮 |
| 地址： | 212003*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 去除 硅片 表面 洗劑 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于去除硅片表面污斑的清洗劑，其特征是由聚乙烯醇衍生物，辛基苯烷基聚氧乙烯磷酸酯，OP，十二烷基硫基乙酸鈉和水組成，其各組分的質量百分比含量為：
聚乙烯醇衍生物??????????????20-40%，
辛基苯烷基聚氧乙烯磷酸酯????30-50%，
OP??????????????????????????1-3%，
十二烷基硫基乙酸鈉??????????15-30%，
水??????????????????????????2-10%，
其中：所述的聚乙烯醇衍生物的分子結構為
分子量為5000-40000，m1:m2=10:1，其反應產物是由聚乙烯醇與磷酸反應獲得，反應具體過程為：
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