[發明專利]一種用于薄膜楊氏模量測量的系統

無效

• 申請號: 201210255907.3
• 申請日: 2012-07-19
• 公開（公告）號: CN102768184A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 丹特·多倫雷;楊斐;陳琨;路子沫;李艷寧;傅星;胡小唐
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 溫國林

1.一種用于薄膜楊氏模量測量的系統，包括：脈沖激光器（1），所述脈沖激光器（1）發射脈沖激光經第一擴束鏡（2）準直擴束后，被3:7分光鏡（3）分成7/10脈沖激光和3/10脈沖激光，所述7/10脈沖激光經柱面聚焦透鏡（4）聚焦在被測樣品（5）的表面，激發產生聲表面波信號；其特征在于，

所述聲表面波信號經過第一檢測通道和/或第二檢測通道轉換為電信號，并通過示波器（27）顯示后被傳輸至計算機（28）進行處理。

2.根據權利要求1所述的一種用于薄膜楊氏模量測量的系統，其特征在于，所述第一檢測通道包括：壓電探頭（23），

所述壓電探頭（23）下的PVDF壓電薄膜傳感器（24）檢測到所述聲表面波信號后，將所述聲表面波信號轉換為所述電信號；所述3/10脈沖激光作為觸發信號觸發光電二極管（26），通過導線將所述電信號輸出至放大器（25），被濾波放大后的信號到達所述示波器（27），所述示波器（27）獲取所述電信號。

3.根據權利要求1所述的一種用于薄膜楊氏模量測量的系統，其特征在于，所述第二檢測通道包括：632.8nm的He-Ne激光器（7），

所述632.8nm的He-Ne激光器（7）發出探測光，過第二擴束鏡（8）準直擴束后，被1:1偏振分光鏡（9）極化產生透射光，所述透射光經第一平面反射鏡（10）、λ/4波片（11）和第一聚焦透鏡（12）后聚焦到被測樣品（5）的表面，獲取所述聲表面波信號后經過所述第一聚焦透鏡（12）、所述λ/4波片（11）、所述第一平面反射鏡（10）和所述1:1偏振分光鏡（9）后產生反射光，所述反射光傳輸至1:1分光鏡（13）分成第一路反射光和第二路反射光；所述第一路反射光經第二平面反射鏡（14）、第一光闌（15）、第二聚焦透鏡（18）和第一濾光片（20）后進入差分光電探測器（22）的一個探測口；所述第二路反射光經第三平面反射鏡（16）、第二光闌（17）、第三聚焦透鏡（19）和第二濾光片（21）后進入所述差分光電探測器（22）的另一個探測口；所述差分光電探測器（22）輸出所述電信號并傳輸至所述示波器（27），所述示波器（27）獲取所述電信號。

4.根據權利要求3所述的一種用于薄膜楊氏模量測量的系統，其特征在于，所述第一濾光片（20）和所述第二濾光片（21）具體為：波長為632.8nm的窄帶干涉濾光片。