[發(fā)明專利]一種凈化工業(yè)尾氣中四氟化硅的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210254127.7 | 申請日： | 2012-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN102773013A | 公開（公告）日： | 2012-11-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王學謙;寧平;劉巍;陳煒;邱娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 昆明理工大學 |
| 主分類號： | B01D53/90 | 分類號： | B01D53/90;B01D53/68;B01J31/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 凈化 工業(yè) 尾氣 氟化 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種凈化工業(yè)尾氣中四氟化硅的方法，其特征在于按如下步驟進行：
（1）用70℃去離子水洗滌活性炭灰塵后，將活性炭按固液比1：5-10放入氫氧化鉀與磺化鈦氰鈷混合溶液中浸漬老化24-36h，過濾后用蒸餾水洗滌3-5次，在90-120℃下干燥12-24h，然后通入氮氣，在絕氧條件、200-500℃下焙燒6-10h，即得到凈化所用的催化劑；
（2）將改性催化劑放入固定床，密封，在加熱條件40-100℃下通入含有四氟化硅的工業(yè)尾氣反應空速為100-300h-1，并補充氧氣，氧氣在工業(yè)尾氣中的體積百分比濃度為0.2-2%，吸附處理后尾氣即為凈化后尾氣；
（3）失活后催化劑用水蒸氣洗滌2-6h后，在100-150℃下干燥12h，即得到再生后催化劑，循環(huán)用于凈化工業(yè)四氟化硅尾氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述凈化工業(yè)尾氣中四氟化硅的方法，其特征在于：氫氧化鉀與磺化鈦氰鈷的混合溶液是指在10%的氫氧化鉀溶液中加入磺化鈦氰鈷而制備得到的溶液，其中氫氧化鉀與磺化鈦氰鈷的質(zhì)量比為1：0.1-5：0.1。
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