[發明專利]光刻機工作臺及其工作方法

有效

• 申請號: 201210254039.7
• 申請日: 2012-07-20
• 公開（公告）號: CN103576463A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 吳飛;劉劍;張志鋼;鄭樂平;袁志揚
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光刻機工作臺，其特征在于，包括平面電機、工件臺、冷卻裝置和控制系統，所述工件臺設置于所述平面電機上，所述控制系統分別與所述平面電機、工作臺和冷卻裝置通過無線信號連接，所述平面電機帶動所述工件臺做長行程運動，所述工件臺在所述平面電機上做六自由度運動，所述冷卻裝置設置于所述工件臺內部，所述冷卻裝置用于給工件臺提供冷卻劑以保證其溫度的穩定性。

2.根據權利要求1所述光刻機工作臺，其特征在于，所述平面電機包括粗動平面電機定子、粗動平面電機動子和第一無線信號接收裝置，所述粗動平面電機動子安裝于所述工件臺的底部，所述粗動平面電機動子設置于所述粗動平面電子定子上，所述第一無線信號接收裝置設置于所述粗動平面電機定子上，所述控制系統通過所述第一無線信號接收裝置控制所述粗動平面電機動子驅動所述工件臺在粗動平面電機定子上做六自由度運動。

3.根據權利要求1所述光刻機工作臺，其特征在于，所述工件臺包括承片臺、支撐臺、進水口、排水口、方鏡和第二無線信號接收裝置，所述支撐臺通過平面電機動子設置于所述平面電機定子上，所述承片臺設置于所述支撐臺上，所述進水口設置于所述支撐臺的一側，所述排水口設置于所述支撐臺的另一側，所述方鏡設置于所述承片臺相對的兩側，所述第二無線信號接收裝置設置于所述承片臺上，所述控制系統通過所述第二無線信號接收裝置控制所述工件臺中的冷卻裝置進行該工件臺的冷卻控溫工作。

4.根據權利要求3所述光刻機工作臺，其特征在于，所述冷卻裝置包括微型水泵、內部溫度傳感器、第一電磁閥和第二電磁閥，所述微型水泵和內部溫度傳感器串接構成回路，該回路設置于所述工件臺的內部，所述第一電磁閥與第二電磁閥均與所述回路連接，所述進水口與所述第一電磁閥連接，所述排水口與所述第二電磁閥連接。

5.根據權利要求3所述光刻機工作臺，其特征在于，還包括充電裝置，所述工件臺中支撐臺的一側還設有充電接口，所述充電裝置能夠通過所述充電接口對工件臺進行充電。

6.根據權利要求4所述光刻機工作臺，其特征在于，還包括換水機械臂，所述換水機械臂在工件臺需要冷卻時與所述進水口相接。

7.根據權利要求5所述光刻機工作臺，其特征在于，還包括充電機械臂，所述充電機械臂在工件臺需要充電時與所述充電接口相接。

8.根據權利要求4所述光刻機工作臺，其特征在于，所述冷卻裝置的使用方法為：

步驟一：導通第二電磁閥，從排水口處抽空回路中使用后的冷卻劑；

步驟二：關閉第二電磁閥，導通第一電磁閥，從進水口泵入冷卻劑；

步驟三：關閉第一電磁閥，并從進水口與排水口處抽出殘留的冷卻劑；

步驟四：冷卻劑通過微型水泵的驅動在回路中循環流動。

9.根據權利要求8所述光刻機工作臺，其特征在于，所述冷卻劑為固液兩相混合物。

10.根據權利要求9所述光刻機工作臺，其特征在于，采用調控固液兩相混合物中固體冷介質與流體的混合比例的方式來控制工件臺的溫度。

11.根據權利要求8所述光刻機工作臺，其特征在于，在冷卻劑達不到冷卻效果時，即內部溫度傳感器測出的冷卻劑的溫度長時間高于設定值時，重復步驟一至步驟四。

12.根據權利要求10所述光刻機工作臺，其特征在于，所述冷卻劑為22℃的水和冰的兩相混合物，所述混合物中的冰不能夠阻礙所述水的流動。

13.根據權利要求10所述光刻機工作臺，其特征在于，所述冷卻劑能夠在22℃時固液共存。

14.根據權利要求1至13任一項所述光刻機工作臺，其特征在于，還包括硅片吸盤裝置，所述硅片吸盤裝置設置于所述工件臺中，所述硅片吸盤裝置用于將硅片吸附于所述工件臺上。