[發明專利]SAW器件、SAW振蕩器以及電子設備

有效

• 申請號: 201210254019.X
• 申請日: 2012-07-20
• 公開（公告）號: CN102904547A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 山中國人;小幡直久
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

技術領域

本發明涉及SAW器件、SAW振蕩器以及電子設備。

背景技術

SAW器件（表面聲波器件）是將電信號轉換為表面波并進行信號處理的電路元件，作為濾波器、諧振器等而被廣泛使用。作為這種SAW器件，公知有利用粘接劑將SAW芯片固定到底座基板的結構，該SAW芯片是在由石英等壓電性材料構成的壓電基板上設置IDT電極（梳齒電極）而成的（例如專利文獻1）。

專利文獻1所記載的SAW器件具有在石英基板上設置IDT電極而成的SAW芯片、和通過粘接劑支承SAW芯片的底座基板。此外，在專利文獻1中，SAW芯片在其一端部且不與IDT電極重疊的位置處具有安裝部，通過粘接劑將該安裝部接合到底座基板，由此，成為SAW芯片被單側支承在底座基板的狀態。由此，公知有通過對SAW芯片進行單側支承來使SAW芯片的老化特性改善（抑制了隨著時間經過的振蕩頻率的變動）的情況。

此外，在專利文獻1的SAW器件中，形成于SAW芯片的焊盤和形成于底座基板的焊盤通過線（接合線）電連接。

此處，在這種SAW器件中，要求SAW芯片與底座基板的牢固接合。由此，能夠抑制將線（接合線）與SAW芯片進行超聲波接合時的SAW芯片的不必要的振動，將線更牢固地接合到SAW芯片。

并且，在SAW器件中，從防止SAW芯片的損壞/破損的觀點出發，優選SAW芯片與底座基板平行。由此，能夠防止SAW芯片的自由端與底座基板等的接觸，從而有效防止SAW芯片的損壞/破損。此外，在將線與SAW芯片進行超聲波接合時，能夠向SAW芯片有效地施加超聲波振動，因此能夠將線更牢固接合到SAW芯片。

為了滿足這種要求，可考慮增加SAW芯片與粘接劑的粘接面積，但是隨著粘接面積的增加，SAW芯片在底座基板上從“單側支承的狀態”轉移為“整個面支承的狀態”，伴隨于該轉移，SAW芯片的老化特性惡化。

因此，在專利文獻1的SAW器件中，在SAW芯片的一端部形成比較大的安裝部，并用該安裝部經由粘接劑將SAW芯片固定到底座基板，由此在維持單側支承的狀態的同時，將SAW器件牢固地固定到底座基板。因此，在專利文獻1的SAW器件中，分別以較高的水平實現了老化特性、接合強度、平行度的各要素。

但是，考慮到近年來或將來要求的SAW器件的特性/精度，在專利文獻1的SAW器件中，所述各要素的水平（尤其是接合強度和平行度）是不充分的，因此需要進一步研究。

【專利文獻1】日本特開2005－136938號公報

發明內容

本發明的目的在于提供能夠分別以較高的水平實現老化特性、接合強度和平行度的各要素的SAW器件、SAW振蕩器以及電子設備。

本發明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應用例來實現。

[應用例1]

本發明的SAW器件的特征在于，該SAW器件具有：SAW芯片，其具有板狀的壓電基板、和配置于所述壓電基板的梳齒電極；底座基板，其安裝有所述SAW芯片；固定部件，其在所述SAW芯片的在平面視圖中不與所述梳齒電極重疊的位置處將該SAW芯片固定至所述底座基板，并進行單側支承，所述梳齒電極配置在所述壓電基板的與所述底座基板相反側的面上，在所述底座基板的平面視圖中，設與所述SAW芯片的固定端和自由端的相隔方向垂直的方向為第1方向、所述第1方向上的所述SAW芯片的長度為W、所述第1方向上的所述固定部件的長度為D時，滿足1＜D/W≤1.6的關系，所述固定部件被設置成對所述SAW芯片的所述固定端的與所述底座基板相對的面以及在所述第1方向上相對的一對側面、和所述底座基板進行接合。

由此，能夠提供可分別以較高的水平實現老化特性、接合強度和平行度的各要素的SAW器件。具體而言，能夠將在常溫（25℃）±20℃的環境下連續驅動10年時的頻率變動設為±10ppm以內。

[應用例2]

在本發明的SAW器件中，優選的是，所述壓電基板由石英構成。

由此，能夠發揮優異的溫度特性和頻率特性。

[應用例3]

在設所述壓電基板的所述固定端的厚度為t時，所述固定部件從所述固定端的所述側面的所述底座基板側設置到0.2t以上、0.8t以下的高度。

由此，能夠將SAW芯片牢固地固定于底座基板，并且能夠防止老化特性的降低。

[應用例4]

在本發明的SAW器件中，優選的是，在所述底座基板的平面視圖中，所述固定部件朝著從所述SAW芯片的所述自由端到所述固定端的方向的外側以及所述第1方向的兩個外側伸出。