[發明專利]表面毛刺微差測量裝置

無效

• 申請號: 201210253849.0
• 申請日: 2012-07-19
• 公開（公告）號: CN103575211A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 胡林強;孫明禮;呂曉鋒;樊凱凱;黃妍;付皇峰;張廣;陳麗娜
• 申請（專利權）人: 浙江師范大學
• 主分類號: G01B7/34
• 分類號: G01B7/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.設計一項表面毛刺微差測量裝置，其特征在于，主要包括機身(1)，X軸平移導軌(2)，Y軸平移導軌(3)，測量針(4)，壓桿(5)，活塞(6)，密封圈(7)，法蘭(8)，氣缸(9)，壓力表(10)，氣管(11)，Z軸平移導軌(12)，微差測量裝置(13)。其中微差測量裝置(13)包括激勵電源(14)，密封塞(15)，感應線圈(16)，激勵線圈(17)，磁性液體(18)，U形管(19)，電壓表(20)，電壓輸出口(21)。

2.如權利要求1所述，基于表面毛刺微差測量裝置，其特征在于：Y軸平移導軌(3)通過磁性吸附工件，再對待測表面進行測量，避免夾持過程中損傷工件表面。

3.如權利要求1所述，基于表面毛刺微差測量裝置，其特征在于：在固定氣缸(9)內壓強一定的前提下，通過測量針(4)測量工件表面，工件表面的表面微差波動使測量針(4)產生上下運動，測量針(4)再作用于壓桿(5)，擠壓氣缸(9)內氣體，使通過氣管(12)與氣缸(9)相連接的U形管(19)內磁性液體高度產生變化。相當于磁芯發生變化，輸出電壓值相應變化。

4.如權利要求1所述，基于表面毛刺微差測量裝置，其特征在于：所述的U形管(20)內充有一定量的磁性液體(18)，磁性液體(18)具有超順磁性，用其作為磁芯，可使得磁場更加穩定。

5.如權利要求1所述，基于表面毛刺微差測量裝置，其特征在于：所述U形管(19)兩端均勻密繞兩個長度相等的同軸線圈，兩個內部線圈的匝數均為N1，兩個外部線圈的匝數均為N2，將兩端的內部線圈串聯作為激勵線圈(17)，兩端的外部線圈反向串聯作為感應線圈(16)；激勵線圈產生激勵磁場，利用U形管(19)中磁性液體(18)的超順磁性，可以使得磁性液體(18)產生穩定的磁場，感應線圈(16)用于感應出U形管(19)里磁性液體(18)產生的磁場中的電場，相較于其他類型測量設備，該設備測量精度更高，可測量幾個微米級別的位移變化。

6.如權利要求1所述，基于表面毛刺微差測量裝置，其特征在于：所述電壓表(20)連接感應線圈(16)，用于測量感應線圈(16)兩端的電壓值，從而計算出輸入的位移變化值。同時通過電壓數據輸出口(21)輸出電壓變化圖表。