[發(fā)明專利]具有高電氣對稱性的立式霍爾傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210252576.8
• 申請日: 2012-07-20
• 公開（公告）號: CN102890250A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: U.奧瑟萊希納
• 申請（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01R33/07
• 分類號: G01R33/07
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;盧江

相關(guān)申請

本申請與________提交的題為“ELECTRONIC?DEVICE?WITH?RING-CONNECTED?HALL?EFFECT?REGIONS”的美國序列號________（律師案卷號No.?SZP188US）有關(guān)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實施例涉及立式霍爾傳感器并且涉及使用立式霍爾傳感器的磁感測方法。

背景技術(shù)

為了感測或測量與例如半導(dǎo)體管芯的表面平行的磁場的強度和方向，可以使用立式霍爾設(shè)備。大多數(shù)立式霍爾設(shè)備遭受以下事實：用來抵消霍爾設(shè)備的零點誤差的旋轉(zhuǎn)電流方法沒有很好地起作用。利用旋轉(zhuǎn)電流方案的已知方法，有可能獲得大約1mT的殘余零點誤差。這種相當差的偏移行為的一個原因可以在立式霍爾設(shè)備的非對稱性中找到。盡管已知如何連接四個立式霍爾設(shè)備以便提高對稱性，但是接觸電阻可能仍然造成殘余非對稱性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的實施例提供了一種立式霍爾傳感器，該立式霍爾傳感器包括霍爾效應(yīng)區(qū)和在霍爾效應(yīng)區(qū)的表面內(nèi)或表面上形成的多個接觸。這些接觸沿著在霍爾效應(yīng)區(qū)的第一端和第二端之間延伸的路徑成序列設(shè)置。所述多個接觸包括至少四個旋轉(zhuǎn)電流接觸和至少兩個只供電接觸。旋轉(zhuǎn)電流接觸被配置成依照旋轉(zhuǎn)電流方案交替地用作供電接觸和傳感器接觸。所述至少四個旋轉(zhuǎn)電流接觸沿著所述路徑的中心部分設(shè)置。所述至少兩個只供電接觸以分布的方式設(shè)置在中心部分的兩側(cè)并且被配置成依照用于向霍爾效應(yīng)區(qū)供應(yīng)電能的旋轉(zhuǎn)電流方案的擴展向霍爾效應(yīng)區(qū)供應(yīng)電能。

本發(fā)明的另外的實施例提供了一種立式霍爾傳感器，該立式霍爾傳感器包括霍爾效應(yīng)區(qū)和在霍爾效應(yīng)區(qū)內(nèi)或霍爾效應(yīng)區(qū)上沿著在霍爾效應(yīng)區(qū)的第一端和第二端之間延伸的路徑成序列形成的多個接觸。這些接觸依照該序列連續(xù)地編號。所述多個接觸包括第一類型接觸和第二類型接觸，其中M個第二類型接觸設(shè)置在每兩個第一類型接觸之間，M為正整數(shù)。具有序列內(nèi)的由1?+?i*4*(1+M),?i=0,?1,?2…給出的序號的第一類型接觸連接到第一節(jié)點N1。具有序列內(nèi)的由2?+?M?+?i*4*(1+M),?i=0,?1,?2?…給出的序號的第一類型接觸連接到第二節(jié)點N2。具有序列內(nèi)的由3?+?2*M?+?i*4*(1+M),?i=0,?1,?2…給出的序號的第一類型接觸連接到第三節(jié)點N3。最后，具有序列內(nèi)的由4?+?3*M?+?i*4*(1+M),?i=0,?1,?2…給出的序號的第一類型接觸連接到第四節(jié)點N4。第一類型接觸被認為依照旋轉(zhuǎn)電流方案交替地用作供電接觸和感測接觸，其中規(guī)定在旋轉(zhuǎn)電流方案的第一操作階段在第一和第三節(jié)點N1、N3之間供應(yīng)電能并且在第二操作階段在第二和第四節(jié)點N2、N4之間供應(yīng)電能。第一類型接觸也被配置成在第一操作階段感測第二和第四節(jié)點N2、N4之間的感測信號并且在第二操作階段感測第一和第三節(jié)點N1、N3之間的另一個感測信號。第二類型接觸為懸空接觸。

本發(fā)明的另外的實施例提供了一種立式霍爾傳感器，該立式霍爾傳感器包括霍爾效應(yīng)區(qū)和在霍爾效應(yīng)區(qū)的表面內(nèi)或表面上形成的多個接觸。霍爾效應(yīng)區(qū)具有第一端和第二端。霍爾效應(yīng)區(qū)關(guān)于對稱軸對稱，使得第一端和第二端關(guān)于對稱軸彼此鏡像倒置。所述多個接觸關(guān)于對稱軸以對稱的方式形成。這些接觸沿著在霍爾效應(yīng)區(qū)的第一端和第二端之間延伸的路徑成序列設(shè)置。所述多個接觸包括至少四個旋轉(zhuǎn)電流接觸和至少兩個只供電接觸。旋轉(zhuǎn)電流接觸被配置成依照旋轉(zhuǎn)電流方案交替地用作供電接觸和傳感器接觸。所述至少四個旋轉(zhuǎn)電流接觸比只供電接觸更靠近對稱軸。所述至少兩個只供電接觸被配置成向霍爾效應(yīng)區(qū)供應(yīng)電能，使得在執(zhí)行旋轉(zhuǎn)電流方案期間影響霍爾效應(yīng)區(qū)內(nèi)的電流流動的邊界效應(yīng)被降低，所述邊界效應(yīng)由第一端和第二端中的至少一個造成。