[發明專利]一種柔性聚合物太陽能電池的制備方法

有效

• 申請號: 201210250228.7
• 申請日: 2012-07-19
• 公開（公告）號: CN102779945A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 劉星元;郭曉陽
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.一種柔性聚合物薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟i、在具有光滑表面的平面基板上制備的柔性基底；

步驟ii、在帶有柔性基底的基板與條狀掩模板上，蒸發得到無銦透明導電陽極層；所述柔性基底的材料為玻璃化轉變溫度大于等于150攝氏度的透明塑料材料；

步驟iii、在所述無銦透明導電陽極層上形成光敏層；

步驟iv、在所述光敏層上方蒸發得到陰極修飾層和陰極層；

步驟v、將帶有無銦透明導電陽極層，光敏層，陰極修飾層，及陰極層的柔性基底從基板上剝離下來。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在步驟ii中，在蒸發得到無銦透明導電陽極層之前，還要先蒸發一層附著力及光學修飾層。

3.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述附著力及光學修飾層的厚度為10-100納米。

4.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述附著力及光學修飾層為一種、兩種或三種透明金屬氧化物的混合。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，

兩種透明金屬氧化物混合時，每一種透明金屬氧化物的混合比例為10-90%；

三種透明金屬氧化物混合時，每一種透明金屬氧化物的混合比例為10-80%。

6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述透明金屬氧化物包括SiO₂，Al₂O₃，和Ta₂O₅。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟ii中，無銦透明導電陽極為介質/金屬/介質結構的多層透明導電薄膜。

8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述多層透明導電薄膜的結構為WO₃/Ag/WO₃或MoO₃/Ag/MoO₃或Ta₂O₅/Ag/Ta₂O₅或Sb₂O₃/Ag/Sb₂O₃。

9.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟i中，所述基板為玻璃，石英或者硅片。

10.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟ii中，所述柔性基底為聚酰亞胺（PI）或聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）。

11.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟i中，所述柔性基底的厚度為1-300微米。

12.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟ii中，所述無銦透明導電陽極層的厚度為50-200納米。

13.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟ii中，所述光敏層的厚度為80-150納米。

14.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟iv中，所述陰極修飾層的厚度為0.5-2納米。

15.根據權利要求1-8任意一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟iv中，所述陰極層的厚度為20-100納米。