[發明專利]用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣

有效

• 申請號: 201210247658.3
• 申請日: 2012-07-17
• 公開（公告）號: CN102768148A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 汪紅;顧挺;程萍;李君翊;王慧穎;丁桂甫
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01N3/02
• 分類號: G01N3/02
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣，其特征在于，所述原位壓縮試樣包括試樣部分和用于固定試樣的固定部分，所述的試樣部分是在硅通孔中形成的圓形金屬柱；所述的固定端部分為圓形或方形平板結構；所述試樣的一端固定在所述固定端之上，用夾具將固定端固定，并對所述試樣的另一端施加壓力，試樣受力方向與圓形金屬柱的生長方向一致，實現試樣的壓縮測試。

2.根據權利要求1所述的用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣，其特征在于，所述試樣部分為微米級，所述固定端厚度部分為毫米級。

3.根據權利要求2所述的用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣，其特征在于，所述試樣部分，其形狀為圓形金屬柱，直徑為5-150微米，高度為10-300微米。

4.根據權利要求3所述的用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣，其特征在于，所述試樣部分，材料為電沉積金屬銅。

5.根據權利要求1-4任一項所述的用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣，其特征在于，所述固定端，其形狀為長方形或正方形平板或圓形結構，邊長為500-2000微米，厚度為300-600微米。

6.根據權利要求5所述的用于TSV銅互連材料力學性能測試的原位壓縮試樣，其特征在于，所述固定端，材料為銅材或鎳材。