[發明專利]聚氨酯樹脂組合物及聚氨酯支撐墊片

無效

• 申請號: 201210246355.X
• 申請日: 2012-07-16
• 公開（公告）號: CN102875769A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 崔相洵;太泳智;申東穆;尹暻然;N-R·金;安秉寅
• 申請（專利權）人: 株式會社LG化學
• 主分類號: C08G18/66
• 分類號: C08G18/66;C08G18/42;C08G18/32;C08L75/06
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 侯婧;鐘守期

技術領域

本發明涉及一種聚氨酯樹脂組合物及聚氨酯支撐墊片，更具體地涉及能夠提供一種在內部均勻地包含長而大的氣孔，顯示高壓縮率及壓縮恢復率，并用于半導體裝置或者顯示器裝置所使用的基板或者玻璃等的研磨工藝中，從而能夠將表面缺陷及粗糙度、波紋度最小化的支撐墊片的聚氨酯樹脂組合物和由這種組合物獲得的聚氨酯支撐墊片。

背景技術

要求高集成度的半導體裝置或者顯示器裝置所使用的基板，由于需要微小而精密的表面，因此適用多種平坦化的方法。尤其，隨著半導體元件或者顯示器裝置的高集成化及高性能化的趨勢，一般使用將包括研磨粒子及多種化學成分的漿料組合物供給至研磨墊片與被研磨體之間，同時使研磨墊片與被研磨體相對移動而進行研磨的方法。為了更精密地研磨，該研磨方法將該被研磨體固定于支撐墊片上，使其在研磨或者加工過程中能夠保持一定的位置與姿勢。

另一方面，日本特許公開第2006-334745中揭示了一種通過使多元醇類、聚異氰酸酯類、發泡劑、催化劑及拒水性賦予劑進行反應及硬化而獲得的聚氨酯發泡體以及利用該發泡體獲得的研磨用支撐墊片。但是，該聚氨酯發泡體是通過使用水、二氯甲烷或者碳酸氣等發泡劑而獲得的，這種發泡體具有相對高的硬度，或者很難在內部均勻地形成長而大的氣孔，且不容易在低硬度領域確保高壓出率及壓出彈性率。

而且，以前的支撐墊片，由于內部不均勻地分布有不同大小的氣孔，對于被研磨體的墊片性能和吸附力不佳，并且在研磨過程中被研磨體不能牢固地固定在支撐墊片上，因此存在不能進行精密的研磨的問題。另外，以前的支撐墊片，由于形成于內部的氣泡顯示不均勻的大小及分布，不僅壓出率及壓出彈性率等物性不佳，而且拒水功能也不充分，因此存在被研磨體在研磨或者加工過程中容易脫離的問題。

由此，有必要開發一種能夠更精密而有效地研磨半導體裝置或者顯示器裝置所使用的基板的新的支撐墊片。

發明內容

本發明的目的在于提供一種聚氨酯樹脂組合物，所述組合物能夠提供一種在內部均勻地包含長而大的氣孔，并顯示高壓縮率及壓縮恢復率，并用于半導體裝置或者顯示器裝置所使用的基板或者玻璃等的研磨工藝中，從而能夠將表面缺陷及粗糙度、波紋度最小化的支撐墊片。

此外，本發明的目的還在于提供一種由所述聚氨酯樹脂組合物形成的聚氨酯支撐墊片。

本發明提供一種聚氨酯樹脂組合物，包括聚氨酯樹脂、有機溶劑及表面活性劑，所述聚氨酯樹脂包括：軟質部，包含以3∶7至7∶3的摩爾比包括乙二醇及1，4-丁二醇的多元醇的殘基和聚羧酸的殘基；及硬質部，包含聚異氰酸酯化合物殘基和擴鏈劑殘基，所述有機溶劑包括選自二甲基甲酰胺及甲基·乙基酮中的一種以上，所述聚氨酯樹脂包括20重量％至32重量％的所述聚異氰酸酯化合物殘基。

此外，本發明提供一種包括聚氨酯樹脂組合物的濕式凝固物的聚氨酯支撐墊片。

下面，進一步具體地描述根據本發明具體實施例的聚氨酯樹脂組合物及聚氨酯支撐墊片。

本發明中“支撐墊片”表示，在制備半導體或者顯示器裝置所使用的基板的過程中，在研磨工藝中，起到使研磨對象膜貼緊或者固定于載體的作用的墊片。

根據本發明的一具體實施例，可提供一種聚氨酯樹脂組合物，包括聚氨酯樹脂、有機溶劑及表面活性劑，所述聚氨酯樹脂包括：軟質部，包含以3∶7至7∶3的摩爾比包括乙二醇及1，4-丁二醇的多元醇的殘基和聚羧酸的殘基；及硬質部，包含聚異氰酸酯化合物殘基和擴鏈劑殘基，所述有機溶劑包括選自二甲基甲酰胺(DMF)及甲基·乙基酮(MEK)中的一種以上，所述聚氨酯樹脂包括20重量％至32重量％的所述聚異氰酸酯化合物殘基。

本發明者們的研究結果顯示，若適當調整主要構成聚氨酯樹脂的軟質部及硬質部的具體成分及其構成比率，就能夠提供在內部均勻地含有長而大的氣孔，顯示高壓縮率及壓縮恢復率，并用于半導體裝置或者顯示器裝置所使用的基板或者玻璃等的研磨工藝中，從而能夠將表面缺陷、粗糙度及波紋度最小化的支撐墊片。發明者通過實驗確認上述情況后完成本發明。

具體地，所述聚氨酯樹脂可包括軟質部和硬質部，所述軟質部可包括以3∶7至7∶3的摩爾比包括乙二醇及1，4-丁二醇的多元醇的殘基和聚羧酸的殘基，所述硬質部可包括所述聚異氰酸酯化合物的殘基和擴鏈劑的殘基。所述聚氨酯樹脂由于包括所述軟質部和硬質部，因而可具有一定的彈性。