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[發(fā)明專利]汞標準氣發(fā)生裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210246342.2 申請日: 2012-07-16
公開(公告)號: CN102749421A 公開(公告)日: 2012-10-24
發(fā)明(設(shè)計)人: 韓占恒 申請(專利權(quán))人: 北京雪迪龍科技股份有限公司
主分類號: G01N33/00 分類號: G01N33/00;G01N1/28
代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 代理人: 魏曉波
地址: 102206 北京市昌*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 標準 發(fā)生 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,包括混合部件(1),所述混合部件(1)的第一進口與稀釋氣氣源(2)連通,其第二進口與內(nèi)有汞蒸氣的汞試劑源(3)連通,所述混合部件(1)的出口與儲氣部件(4)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,還包括載氣氣源(5),所述汞試劑源(3)通過其進氣口與所述載氣氣源(5)連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,所述載氣氣源(5)內(nèi)的載氣為氮氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,還包括設(shè)置于所述載氣氣源(5)與所述汞試劑源(3)之間的第一質(zhì)量流量控制器(6),所述載氣氣源(5)內(nèi)的載氣輸入所述汞試劑源(3)的流量通過所述第一質(zhì)量流量控制器(6)控制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,所述稀釋氣氣源(2)與所述混合部件(1)之間設(shè)置有第二質(zhì)量流量控制器(7),所述稀釋氣氣源(2)內(nèi)的稀釋氣輸入所述混合部件(1)的流量通過所述第二質(zhì)量流量控制器(7)控制。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,所述稀釋氣氣源(2)內(nèi)的稀釋氣為氮氣。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,所述汞試劑源(3)處于預(yù)定溫度的恒溫狀態(tài)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,所述汞試劑源(3)的溫度由所述汞標準氣發(fā)生裝置的溫控單元(8)控制。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,所述溫控單元(8)由所述汞標準氣發(fā)生裝置的主控單元(9)控制。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的汞標準氣發(fā)生裝置,其特征在于,還包括由所述主控單元(9)控制的顯示設(shè)置單元(10)。

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