[發明專利]一種高溫穩定性火花塞電極涂層及其制備方法

無效

• 申請號: 201210246193.X
• 申請日: 2012-07-16
• 公開（公告）號: CN102899614A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 陳照峰;吳王平
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: C23C14/16
• 分類號: C23C14/16;C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種溫穩定性火花塞電極涂層，其特征在于該涂層由鉑族金屬及其合金組成。

2.依據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層厚度為10-100μm。

3.依據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層為銥基材料。

4.依據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層中的合金元素為鋯、鉿、鉭、釔、鋁、鎢中的一種或多種。

5.依據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層中的合金以單質形式存在或與銥形成金屬間化合物。

6.依據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層中含有少量的氧元素，構成銥-鋯/鉿/鉭/釔/鋁/鎢-氧復合涂層。

7.根據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層由納米級或微米級晶粒組成。

8.依據權利要求書1所述的涂層，其特征在于涂層中銥含量為75at.％～98at.％，合金元素含量為1.5at.％～15at.％，氧元素含量為0.5at.％～10at.％。

9.一種高溫穩定性火花塞電極涂層的制備方法，其特征在于包括下述順序的步驟：

(1)電極基體表面預先用機械拋光，再堿洗除油、酸洗，之后烘干。

(2)調節合金靶材與電極基體之間的距離10～20mm；

(3)真空爐內極限真空10^-3Pa以下，然后打開冷卻水循環系統；

(4)通入氬氣或氧氣，爐內工作氣壓0.1～5Pa，氧氣流量5sccm～20sccm；

(5)氣壓穩定后，開啟電源，緩慢增加基材電位-100V～-300V；

(6)基材電壓保持30min后，緩慢增加靶材電位-500V～-800V，開始涂層的制備；

(7)保持工藝參數1-5h后，關閉電源系統和真空系統，冷卻至室溫，關閉冷卻水循環系統，打開爐罩，取出電極基材。