[發(fā)明專利]一種無極燈排氣臺無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210244761.2 | 申請日: | 2012-07-16 |
| 公開(公告)號: | CN102751150A | 公開(公告)日: | 2012-10-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張新華;張若煜 | 申請(專利權(quán))人: | 紹興文理學(xué)院 |
| 主分類號: | H01J9/385 | 分類號: | H01J9/385 |
| 代理公司: | 紹興市越興專利事務(wù)所 33220 | 代理人: | 蔣衛(wèi)東 |
| 地址: | 312000 浙江省紹興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 無極 排氣 | ||
1.一種無極燈排氣臺,其特征在于:包括機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、冷阱、真空管道、排氣嘴;真空管道上分別連接機(jī)械泵和擴(kuò)散泵,真空管道上安裝有用于作用無極燈排氣的排氣嘴;其中擴(kuò)散泵上通過冷阱連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種無極燈排氣臺,其特征在于:所述的真空管道包括主管和從主管上分支出來的多個支管,支管上連接排氣嘴。
3.如權(quán)利要求2所述的一種無極燈排氣臺,其特征在于:所述的真空管道的主管直徑為30~50cm。
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