[發明專利]一種基于分離反射鏡組的共焦測量裝置有效
| 申請號： | 201210244367.9 | 申請日： | 2012-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN102768024A | 公開（公告）日： | 2012-11-07 |
| 發明（設計）人： | 劉儉;譚久彬 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 分離 反射 測量 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于分離反射鏡組的共焦測量裝置，包括激光器(1)及依次配置在激光器(1)直射光路上的準直擴束器(2)、大數值孔徑聚焦物鏡(3)、針孔(4)、分光鏡(6)和三維位移載物臺(9)，在分光鏡的折轉光路上依次配置探測針孔(5)和探測器(7)；其特征在于：在激光器(1)直射光路上還配置由大口徑橢球反射鏡(8-1)和補償鏡組(8-2)組成的分離反射鏡組(8)，該分離反射鏡組(8)中的補償鏡組(8-2)置于分光鏡(6)與三維位移載物臺(9)之間，大口徑橢球反射鏡(8-1)置于三維位移載物臺(9)上側部位處。
2.根據權利要求1所述的一種基于分離反射鏡組的共焦測量裝置，其特征在于：所述的分離反射鏡組(8)可等效為一橢球面反射鏡，其遠焦點位于針孔(4)處，近焦點位于三維位移載物臺(9)上的樣品表面上。
3.根據權利要求1或2所述的一種基于分離反射鏡組的共焦測量裝置，其特征在于：所述的補償鏡組(8-2)由兩片反射鏡組成；所述的分離反射鏡組(8)中，在補償鏡組(8-2)的兩片反射鏡和大口徑橢球反射鏡(8-1)的中心頂點處均開有通孔。
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