[發明專利]一種薄膜電阻溫度計的制作方法

有效

• 申請號: 201210243759.3
• 申請日: 2012-07-13
• 公開（公告）號: CN102749148A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 陳星;宮建;師軍;林鍵
• 申請（專利權）人: 中國航天空氣動力技術研究院
• 主分類號: G01K7/16
• 分類號: G01K7/16;G01K13/00;C23C14/04;C23C14/34
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 安麗

1.一種薄膜電阻溫度計的制作方法，所述薄膜電阻溫度計用于測量尖前緣駐點熱流，其特征在于，包括下列步驟：

(1)清洗玻璃基底，所述玻璃基底包括一個尖前緣；

(2)在玻璃基底的尖前緣沿其長度方向鍍鉑薄膜；

(3)對鉑薄膜進行熱處理，使鉑薄膜老化；

(4)在玻璃基底上刷涂銀漿，對銀漿進行烘干和燒結；

(5)在所述尖前緣沿其周向鍍伽馬合金薄膜，后在伽馬合金薄膜上鍍銀薄膜，通過銀薄膜將鉑薄膜兩端與銀漿連接起來。

2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述步驟(2)中鉑薄膜的寬度為0.1mm、長度為5mm。

3.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述步驟(3)通過如下方法實現：在溫控爐中對鉑薄膜進行熱處理，600℃條件下持續4個小時，后降溫至160℃持續24小時，使鉑薄膜老化。

4.根據權利要求3所述的制作方法，其特征在于：所述溫控爐內為氬氣環境。

5.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述步驟(4)中銀漿寬度為1mm，距離鉑薄膜為5mm。

6.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述步驟(5)中鍍伽馬合金薄膜時間為3分鐘，鍍銀薄膜時間為45分鐘。

7.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：銀薄膜寬1mm、長10mm。

8.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述步驟(2)通過以下方法實現：制作第一掩膜，所述第一掩膜包括多個縫隙；將玻璃基底固定在鍍膜夾具上，玻璃基底的尖前緣與鍍膜夾具的端面組合成一個平面；將第一掩膜壓緊到所述平面；在所述縫隙上形成鉑薄膜。

9.根據權利要求8所述的制作方法，其特征在于：所述鍍膜卡具包括基底21、壓板22、卡口23、側邊可調螺釘24、底部可調螺釘25。

10.根據權利要求8所述的制作方法，其特征在于：所述步驟(5)通過以下方法實現：制作第二掩膜，所述第二掩膜包括多個縫隙；通過所述鍍膜夾具將第二掩膜貼緊在尖前緣外形的玻璃基底上；在所述縫隙上先形成伽馬合金薄膜后形成銀薄膜。