[發(fā)明專利]一種柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管及其制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210243240.5
• 申請(qǐng)日: 2012-07-13
• 公開（公告）號(hào): CN103545446A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周明杰;王平;馮小明;陳吉星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/50
• 分類號(hào): H01L51/50;H01L51/52
• 代理公司: 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 44217
• 代理人: 郭偉剛

1.一種柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，包括依次層疊的柔性襯底、陽極層、第二緩沖層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、電子注入層和陰極層，其特征在于，所述陽極層由金屬材料構(gòu)成，所述柔性襯底與陽極層之間還設(shè)有增強(qiáng)所述柔性襯底與陽極層之間結(jié)合力的第一緩沖層；其中，所述第一緩沖層由一氧化硅、二氧化鋯或二氧化鈦構(gòu)成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，其特征在于，構(gòu)成所述陽極層的金屬材料是銀、金、鋁、鎳和銅的至少一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，其特征在于，構(gòu)成所述第二緩沖層的材料是銀、金、鋁、鎳和銅的至少一種的氧化物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，其特征在于，所述柔性襯底由以下材料的其中一種構(gòu)成：聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚萘二甲酸乙二醇酯、透明聚酰亞胺和聚碳酸酯。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，其特征在于，所述陰極層由以下金屬材料的至少一種構(gòu)成：銀、鋁、釤和鐿。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，其特征在于，所述空穴傳輸層由N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-聯(lián)苯-4,4'-二胺構(gòu)成；所述發(fā)光層為4,4’,4’’-三(咔唑-9-基)-三苯胺與三(2-苯基吡啶)合銥構(gòu)成的摻雜結(jié)構(gòu)，其中所述4,4’,4’’-三(咔唑-9-基)-三苯胺與所述三(2-苯基吡啶)合銥的摻雜質(zhì)量比為100:3；所述電子傳輸層由1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯構(gòu)成，以及所述電子注入層由氟化鋰構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一權(quán)利要求所述的柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管，其特征在于，所述第一緩沖層的厚度為100~500nm；所述第二緩沖層的厚度為1~5nm；所述陽極層的厚度為18~70nm，所述陰極層的厚度為18~100nm。

8.一種柔性有機(jī)電致發(fā)光二極管的制造方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

S1、在真空熱蒸鍍系統(tǒng)中，在清洗干凈的柔性襯底上蒸鍍制備第一緩沖層；

S2、將蒸鍍有所述第一緩沖層的柔性襯底轉(zhuǎn)移至真空濺射系統(tǒng)中，調(diào)節(jié)基靶間距，在通入氬氣的工作條件下在所述第一緩沖層表面濺射制備陽極層，制得金屬電極；其中，所述陽極層由金屬材料構(gòu)成；

S3、在步驟S2的真空濺射系統(tǒng)中，在通入氬氣和氧氣的混合氣體的工作條件下在所述金屬電極的陽極層表面濺射制備第二緩沖層；

S4、將步驟S3中制得的金屬電極轉(zhuǎn)移至真空熱蒸鍍系統(tǒng)中，采用熱蒸鍍方法在所述第二緩沖層表面依次蒸鍍制備空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、電子注入層和陰極層。