[發(fā)明專利]基板檢查裝置和基板檢查方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210242203.2
• 申請(qǐng)日: 2012-07-13
• 公開（公告）號(hào): CN102879646A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山下宗寬;辻英明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R27/02
• 分類號(hào): G01R27/02;G01R31/02
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 郭放;張文

1.一種針對(duì)由分別形成有多個(gè)布線圖案的多個(gè)單位基板相連而成的片狀基板執(zhí)行與所述片狀基板內(nèi)的所述單位基板的所述布線圖案的導(dǎo)通性相關(guān)的評(píng)價(jià)的基板檢查裝置，其特征在于具備：

保持所述片狀基板的基板保持機(jī)構(gòu)；

具有多個(gè)探針的探針單元，所述多個(gè)探針分別與在由所述基板保持機(jī)構(gòu)所保持的所述片狀基板內(nèi)的至少一個(gè)所述單位基板的所述布線圖案上設(shè)定的兩個(gè)測量位置相接觸；

電阻測量部，所述電阻測量部經(jīng)由所述探針單元的所述探針來測量在所述布線圖案上設(shè)定的所述兩個(gè)測量位置間的電阻值；以及

測量電阻值評(píng)價(jià)部，所述測量電阻值評(píng)價(jià)部以規(guī)定的基準(zhǔn)電阻值為基準(zhǔn)，計(jì)算由所述電阻測量部所測量的規(guī)定的評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)所述單位基板的各個(gè)所述布線圖案的測量電阻值的偏離度。

2.如權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部根據(jù)各個(gè)所述布線圖案的測量電阻值的所述偏離度的計(jì)算結(jié)果，來檢測在所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)位置上的所述布線圖案的所述測量電阻值的所述偏離度。

3.如權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部與所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)位置的坐標(biāo)信息相關(guān)聯(lián)地檢測所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的所述各個(gè)位置上的所述布線圖案的所述測量電阻值的所述偏離度。

4.如權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部計(jì)算所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)所述單位基板內(nèi)的所述布線圖案的所述測量電阻值的偏離度，并與所述單位基板在所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的位置信息相關(guān)聯(lián)。

5.如權(quán)利要求2～4中的任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部將所檢測的所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)位置上的所述布線圖案的所述測量電阻值的所述偏離度圖示地顯示在規(guī)定的顯示部上。

6.如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于還具備：

導(dǎo)通判定部，所述導(dǎo)通判定部根據(jù)所述電阻測量部所測量的所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)所述布線圖案的所述測量電阻值、所述測量電阻值的平均值即平均電阻值、以及所述測量電阻值評(píng)價(jià)部所計(jì)算的所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)所述布線圖案的所述測量電阻值的偏離度中的至少一個(gè)，來確定與各個(gè)所述布線圖案的導(dǎo)通性相關(guān)的判定基準(zhǔn)值，并通過將各個(gè)所述布線圖案的所述測量電阻值與所述判定基準(zhǔn)值進(jìn)行比較來執(zhí)行所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)所述布線圖案的良好與否的判定。

7.如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部對(duì)所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的所述單位基板的各個(gè)所述布線圖案的所述測量電阻值進(jìn)行平均，并將結(jié)果所得的平均測量電阻值用作所述基準(zhǔn)電阻值。

8.如權(quán)利要求7所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部計(jì)算以所述平均測量電阻值為基準(zhǔn)的偏差、偏差值或標(biāo)準(zhǔn)偏差作為所述測量電阻值的所述偏離度。

9.如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部所使用的所述基準(zhǔn)電阻值是所述評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的所述單位基板的各個(gè)所述布線圖案的電阻值的設(shè)計(jì)理論值。

10.如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述測量電阻值評(píng)價(jià)部計(jì)算所述測量電阻值與所述基準(zhǔn)電阻值之差作為所述測量電阻值的所述偏離度。

11.如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述探針單元的所述探針在設(shè)定于所述片狀基板內(nèi)的至少一個(gè)所述單位基板的所述布線圖案上的所述各測量位置上各設(shè)置兩個(gè)，兩個(gè)探針中的一個(gè)用于對(duì)所述布線圖案供應(yīng)檢查用的電流，另一個(gè)用于測量所述布線圖案的所述測量位置間的電位差。

12.一種針對(duì)由分別形成有多個(gè)布線圖案的多個(gè)單位基板相連而成的片狀基板執(zhí)行與所述片狀基板內(nèi)的所述單位基板的所述布線圖案的導(dǎo)通性相關(guān)的評(píng)價(jià)的基板檢查方法，其特征在于包括：

測量步驟，利用基板保持機(jī)構(gòu)保持所述片狀基板，使探針與在所保持的所述片狀基板內(nèi)的至少一個(gè)所述單位基板的所述布線圖案上設(shè)定的兩個(gè)測量位置相接觸，并經(jīng)由所述探針測量所述布線圖案的所述測量位置間的電阻值；以及

偏離度計(jì)算步驟，以規(guī)定的基準(zhǔn)電阻值為基準(zhǔn)，計(jì)算在所述測量階段所測量的規(guī)定的評(píng)價(jià)單位片狀基板內(nèi)的各個(gè)所述單位基板的各個(gè)所述布線圖案的測量電阻值的偏離度。