[發明專利]基于電熱驅動的步進微轉動裝置

有效

• 申請號: 201210241602.7
• 申請日: 2012-07-13
• 公開（公告）號: CN102769371A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 沈雪瑾;王振祿;周玲;陳曉陽;胡懿
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: H02K37/24
• 分類號: H02K37/24
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

1.一種基于電熱驅動的步進微轉動裝置，包括驅動部分和轉換傳動部分，其特征在于：

1）?所述驅動部分包括左側和右側水平排列的各上下兩個主致動器（1a、1b和1d、1c）以及左側和右側各一個嚙合控制致動器（2b、2a），所述左右兩側共四個主致動器（1a、1b和1d、1c）分別由6個V型電熱硅微致動器串聯構成，端部分別連接兩個負電極（9a、9b）和四個正電極（10a、10b和10c、10d）；所述左右兩側共兩個嚙合控制致動器（2b、2a）分別由3個V型電熱硅微致動器串聯構成，端部分別連接兩個負電極（7b、7a）和兩個正電極（8b、8a）；

2）所述轉換傳動部分包括左側和右側各一個齒條（6、3）和一個轉動套裝在一根固定齒輪軸（5）上的齒輪（4），所述左右兩側上下兩個主致動器（1a、1b和1d、1c）的中部以及左右兩側的嚙合控制致動器（2b、2a）的中部分別連接左右兩側的齒條（6、3），兩個齒條（6、3）與齒輪（4）之間的位置能實現兩個齒條（6、3）與齒輪（4）受控嚙合與分離。

2.根據權利要求1所述的基于電熱驅動的步進微轉動裝置，其特征在于：

????所述驅動部分和轉換傳動部分制備在硅基板的氮化層上，該氮化層上有固定結構層Poly0，在Poly0上有固定的結構層Poly2構成齒輪軸（5），Poly0上有活動結構層Poly1構成齒輪（4），兩個齒條（6、3）和嚙合控制致動器（2b、2a）。