[發明專利]一種基于電熱驅動及齒輪傳動的往復直線微馬達

有效

• 申請號: 201210241601.2
• 申請日: 2012-07-13
• 公開（公告）號: CN102769408A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 沈雪瑾;周玲;王振祿;陳曉陽;胡懿
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: H02N2/06
• 分類號: H02N2/06
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

1.一種基于電熱驅動及齒輪傳動的往復直線微馬達，包括左側和右側兩個驅動裝置和一個傳動裝置，其特征在于：

1）所述右側驅動裝置是兩個水平并列的由六個V型電熱硅微致動器并列而成的電熱致動器陣列a(1a，1b)的中部與一個推桿齒a(3a)相連，而兩端分別各連接一個負電極(5a，5b)和一個正電極(4a，4b)；一個與電熱致動器陣列相垂直方向設置的由三個V型電熱硅微致動器并列而成的嚙合控制器a(2a)的兩端分別連接一個正電極(6a)和一個負電極(6b)，而中部連接所述推桿齒a(3a)；

2）所述左側驅動裝置與右側驅動裝置結構相同而對稱設置：包括兩個由六個V型電熱硅微致動器并列而成的電熱致動器陣列b(1c，1d)，一個嚙合控制器b(2b)，兩個電熱致動器陣列a(1a，1b)與兩個電熱致動器陣列b(1c，1d)的一端共同連接一個負電極(5a，5b)，兩個電熱致動器b(1c，1d)的另一端分別各連接一個正電極(4c，4d)，嚙合控制器b(2b)的兩端分別各連接一個正電極(6c)和一個負電極(6d)，兩個電熱致動器陣列b(1c，1d)和嚙合控制器b(2b)的中部連接一個推桿齒b(3b)；

3）所述傳動裝置是：位置中央垂直方向設置一個固定的導塊(12)，一個齒條滑槽(11)與該導塊(12)滑配，兩個左右大齒輪(9a，9b)分別置于齒條滑槽(11)的左右側而齒條嚙合，兩個左右小齒輪(7a，7b)分別于左右大齒輪(9a，9b)嚙合，兩個左右小齒輪(7a，7b)所處位置能分別與推桿齒a(3a)和推桿齒b(3b)之間進行受控嚙合與分離；所述兩個大齒輪(9a，9b)和兩個小齒輪(7a，7b)分別活動套裝在固定的大齒輪軸(10b，10a)和小齒輪軸(8b，8a)上。

2.根據權利要求1所述的基于電熱驅動及齒輪傳動的往復直線微馬達，其特征在于包含一個檢測機構，該檢測機構是：兩個彈簧(13)分別安裝在兩個共用的負電極(5a，5b)旁，用于測量齒條滑槽(11)向上向下的輸出力，六個分別設置在齒條滑槽(11)上下端旁、左右兩個電熱致動器陣列a、b(1a，1b，1c，1d)中部旁和兩個嚙合控制器a、b?(2a，2b)旁的標尺(14)，用于測量兩個電熱致動器陣列a、b(1a，1b，1c，1d)和兩個嚙合控制器a、b?(2a，2b)的中部位移。

3.根據權利要求1所述的基于電熱驅動及齒輪傳動的往復直線微馬達，其特征在于：所述左側和右側兩個驅動裝置和傳動裝置制備在硅基板的氮化層上，該氮化層上有固定結構層Poly0，在Poly0上固定的結構層Poly2構成大齒輪軸和小齒輪軸(8b，10b，10a，8a)及導塊(12)，Poly0上有活動結構層Poly1構成大齒輪和小齒輪(9b，9a，7b，7a)及齒條滑槽(11)。