[發明專利]圓形邊成像檢測裝置

無效

• 申請號: 201210241526.X
• 申請日: 2012-07-13
• 公開（公告）號: CN102735696A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 余美群
• 申請（專利權）人: 茂萊（南京）儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G02B17/06
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤;瞿網蘭

1.一種圓形邊成像檢測裝置，其特征是它包括：

一照明光源（4），該照明光源用于將位于檢測臺上的被檢測物（6）的圓形邊照亮，使之能產生反射光線；

一凹形反光碗（1），該凹形反光碗（1）位于被檢測物（6）的上部，它用于接收被檢測物（6）的邊緣圖像并反射至凸形非球面反射鏡（2）上；

一凸形非球面反射鏡（2），它位于凹形反光碗（1）中、被檢測物（6）的正上方，它被用于接收凹形反光碗（1）反射來的被檢測物（6）的邊緣圖像并再次反射匯聚至相機（5）中；

一相機（5），它位于凹形反光碗（1）的上部、凸形非球面反射鏡（2）反射線的匯聚點上。

2.根據權利要求1所述的圓形邊成像檢測裝置，其特征是所述的凹形反光碗（1）的直徑大于需檢測物（6）的直徑，在其上底面和下底面上各安裝有一塊具有消除雜光和抵擋外界環境污染的窗口平片（3），所述的凸形非球面反射鏡（2）安裝在凹形反光碗（1）的下底邊上的窗口平片（3）上。

3.根據權利要求1所述的圓形邊成像檢測裝置，其特征是所述的凸形非球面反射鏡（2）的曲面方程為：????????????????????????????????????????????????，式中：c為頂點的基本曲率即基圓半徑的倒數1/r，k為圓錐曲線常數，不同取值表示不同非球面類型：k=0?球面，K<-1?雙曲面，k=-1?拋物面，-1<k<0?橢球面，k>0?扁橢球面，r為表面上點的徑向坐標。