[發明專利]一種氮化硅陶瓷球的制備方法無效
| 申請號： | 201210241108.0 | 申請日： | 2012-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN102795860A | 公開（公告）日： | 2012-11-28 |
| 發明（設計）人： | 茹敏朝;張偉儒;張哲;曾俐;丁艷;徐鵬;莊新江 | 申請（專利權）人： | 北京中材人工晶體研究院有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/622 | 分類號： | C04B35/622;C04B35/584 |
| 代理公司： | 北京瑞恒信達知識產權代理事務所(普通合伙) 11382 | 代理人： | 曹津燕;李渤 |
| 地址： | 100018 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氮化 陶瓷球 制備 方法 | ||
1.一種氮化硅陶瓷球的制備方法，該制備方法包括如下步驟：
（1）將氮化硅和燒結助劑混合、造粒、冷等靜壓成型處理，得到氮化硅陶瓷球素坯；
（2）在步驟（1）得到的素坯表面涂隔離層，干燥后放入玻璃容器，經熱處理后，在真空下進行氫氧火焰焊封，焊接點加入與所述玻璃容器相同的材料，得到玻璃容器包封的素坯；
（3）在無壓狀態下，將步驟（2）得到的玻璃容器包封的素坯放入坩堝，先進行升溫至玻璃容器軟化，然后在氮氣或氬氣保護下，進行熱等靜壓燒結，即得。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，按質量百分比計，氮化硅為92%~98%，燒結助劑為2%~8%。
3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述的燒結助劑采用MgO、Al2O3、Y2O3、La2O3、Yb2O3、CeO2、Lu2O3和Eu2O3中的一種或多種；優選為Al2O3、Y2O3。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟（1）中，所述冷等靜壓成型處理的壓力為100~250MPa；優選為150~220MPa。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟（2）中，所述隔離層為氮化硼或石墨。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟（2）中，所述玻璃容器為石英玻璃容器、硼硅酸鹽玻璃容器、高硅氧玻璃容器或硅酸鋁玻璃容器；優選地，所述玻璃容器的軟化溫度為1000~1400℃。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟（2）中，所述熱處理的溫度為900~1300℃，保溫時間為0.5~3h。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟（2）中，所述真空度為10-1~10-3Pa，優選為10-1Pa。
9.根據權利要求1至8中任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟（3）中，所述熱等靜壓燒結的溫度為1700~2000℃，保溫時間為0.5~5h，氮氣或氬氣的壓力為50~250MPa。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京中材人工晶體研究院有限公司，未經北京中材人工晶體研究院有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210241108.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
