[發明專利]一種光輔助LED濕法粗化設備有效

申請號：	201210240470.6	申請日：	2012-07-11
公開（公告）號：	CN103545403A	公開（公告）日：	2014-01-29
發明（設計）人：	左致遠;夏偉;陳康;蘇建	申請（專利權）人：	山東華光光電子有限公司
主分類號：	H01L33/00	分類號：	H01L33/00
代理公司：	濟南金迪知識產權代理有限公司 37219	代理人：	呂利敏
地址：	250101 山東省濟***	國省代碼：	山東;37
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種輔助 led 濕法設備
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【權利要求書】：

1.一種光輔助LED濕法粗化設備，其特征在于，包括腐蝕溶液槽、光源模塊、通風排氣扇、恒溫加熱裝置以及定時器，腐蝕溶液槽、光源模塊、通風排氣扇以及恒溫加熱裝置安裝在密封箱體的內部，恒溫加熱裝置安裝在密封箱體的底部，腐蝕溶液槽安裝在恒溫加熱裝置的上方，光源模塊與通風排氣扇安裝在箱體的頂部，在密封箱體的箱壁上設置有前面板和觀察窗口，定時器安裝在密封箱體的前面板上。

2.如權利要求1所述的一種光輔助LED濕法粗化設備，其特征在于，所述的光源模塊包括光源和擴束鏡；光源為355nm激光器或532nm激光器或汞燈或發光二極管陣列，兩種激光器的輸出功率范圍為500mW-5W，汞燈的輸出功率范圍為1W-500W，發光二極管陣列的輸出功率為5W-100W；擴束鏡保證光源發出的光均勻輻照在待腐蝕的外延片的全部表面上。

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