[發(fā)明專(zhuān)利]處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210239469.1
• 申請(qǐng)日: 2012-04-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102760649B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F·佩雷斯-維拉德
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/265
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/265;H01J37/317
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所11105
• 代理人: 吳艷

1.一種處理系統(tǒng)，包括：

第一粒子束柱(3)，其具有用于沿著第一粒子束的束通道將所述第一粒子束聚焦到相互作用區(qū)域(11)上的聚焦透鏡(33)；

用于將物體(13)布置在所述相互作用區(qū)域(11)內(nèi)的物體保持器(51)，其中所述物體保持器(51)構(gòu)造成相對(duì)于所述第一粒子束柱(3)繞著所述物體保持器(51)的傾斜軸(53)傾斜所述物體(13)，其中所述傾斜軸(53)橫向于所述第一粒子束的束通道定向；以及

氣體供應(yīng)裝置(15)，其包括環(huán)形管道(63)和氣體供應(yīng)線路(65)；

其中所述氣體供應(yīng)線路(65)包含一端(66)和遠(yuǎn)端(75)，并且在所述氣體供應(yīng)線路(65)的遠(yuǎn)端(75)，所述氣體供應(yīng)線路(65)開(kāi)口于所述環(huán)形管道(63)內(nèi)，用于從氣體儲(chǔ)存器(74)供應(yīng)氣體(71)至所述環(huán)形管道(63)；

其中所述環(huán)形管道(63)在所述聚焦透鏡(33)和所述相互作用區(qū)域(11)之間環(huán)形地圍繞所述第一粒子束的束通道延伸；

其中所述環(huán)形管道(63)在面對(duì)所述相互作用區(qū)域(11)的側(cè)部上包括朝向相互作用區(qū)域的多個(gè)用于氣體的出口(73)；并且

其中所述環(huán)形管道(63)包括保持器(81)，其構(gòu)造成繞著所述環(huán)形管道(63)的樞軸(83)樞轉(zhuǎn)所述環(huán)形管道(63)，其中所述樞軸(83)平行于所述物體保持器(51)的傾斜軸(53)。

2.如權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其中所述氣體供應(yīng)線路(65)包括沿著所述樞軸(83)線性延伸的部分。

3.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述環(huán)形管道(63)由所述氣體供應(yīng)線路(65)支撐。

4.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述出口(73)沿著所述環(huán)形管道(63)的周向均勻地分布。

5.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述環(huán)形管道(63)的內(nèi)徑(d)，在橫向于所述環(huán)形管道(63)的樞軸(83)的方向測(cè)量，大于0.1mm。

6.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述環(huán)形管道的內(nèi)徑(d)，在橫向于所述環(huán)形管道(63)的樞軸(83)的方向測(cè)量，大于0.5mm。

7.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述環(huán)形管道的內(nèi)徑(d)，在橫向于所述環(huán)形管道(63)的樞軸(83)的方向測(cè)量，小于10.0mm。

8.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述環(huán)形管道的內(nèi)徑(d)，在橫向于所述環(huán)形管道(63)的樞軸(83)的方向測(cè)量，小于5.0mm。

9.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述物體保持器(51)的傾斜軸(53)與所述環(huán)形管道的當(dāng)所述環(huán)形管道(63)平行于所述物體定向時(shí)遠(yuǎn)離所述物體保持器(51)的一側(cè)之間的距離(a)大于0.5mm。

10.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述物體保持器(51)的傾斜軸(53)與所述環(huán)形管道的當(dāng)所述環(huán)形管道(63)平行于所述物體定向時(shí)遠(yuǎn)離所述物體保持器(51)的一側(cè)之間的距離(a)大于1.0mm。

11.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述物體保持器(51)的傾斜軸(53)與所述環(huán)形管道的當(dāng)所述環(huán)形管道(63)平行于所述物體定向時(shí)遠(yuǎn)離所述物體保持器(51)的一側(cè)之間的距離(a)小于4.0mm。

12.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述物體保持器(51)的傾斜軸(53)與所述環(huán)形管道的當(dāng)所述環(huán)形管道(63)平行于所述物體定向時(shí)遠(yuǎn)離所述物體保持器(51)的一側(cè)之間的距離(a)小于2.0mm。

13.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中所述第一粒子束柱配置成將電子束(5)或者離子束引導(dǎo)至所述相互作用區(qū)域(11)。

14.如權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，進(jìn)一步包括第二粒子束柱，其具有用于將第二粒子束沿著所述第二粒子束的束通道引導(dǎo)至所述相互作用區(qū)域(11)的聚焦透鏡；

其中所述環(huán)形管道(63)還環(huán)形地圍繞所述第二粒子束的所述束通道延伸，并且布置在所述第二粒子束柱的所述聚焦透鏡與所述相互作用區(qū)域(11)之間。

15.如權(quán)利要求14所述的處理系統(tǒng)，其中所述第二粒子束的所述束通道的方向垂直于所述物體保持器(51)的所述傾斜軸(53)定向。