[發(fā)明專利]一種高溫超導(dǎo)Josephson雙晶結(jié)的制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210238011.4
• 申請(qǐng)日: 2012-07-11
• 公開（公告）號(hào): CN102738381A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許偉偉;花濤;安德越;陳健;吳培亨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L39/24
• 分類號(hào): H01L39/24
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 邱興天

1.一種高溫超導(dǎo)Josephson雙晶結(jié)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）采取先做先驅(qū)膜再進(jìn)行后處理的方式，在雙晶基底片上制備超導(dǎo)薄膜；

（2）采用真空熱蒸發(fā)鍍銀的方法，在超導(dǎo)薄膜上蒸鍍銀膜電極；

（3）在蒸好銀的薄膜上制備出掩膜圖形：在超導(dǎo)薄膜上甩上一層AZ正性光刻膠，曝光、顯影后得到微橋圖形；

（4）將光刻顯影好的掩膜圖形樣品，放入稀磷酸中刻蝕薄膜；

（5）采用脈沖式刻蝕對(duì)磷酸刻蝕后的樣品進(jìn)行離子刻蝕；

（6）用丙酮去除光刻膠；

（7）采用脈沖式刻蝕對(duì)沒有光刻膠保護(hù)的超導(dǎo)薄膜進(jìn)行離子減薄刻蝕。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫超導(dǎo)Josephson雙晶結(jié)的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，超導(dǎo)超導(dǎo)薄膜是TlBaCaCuO薄膜、BiSrCaCuO或YBaCuO薄膜。