[發明專利]一種提高夏克-哈特曼波前傳感器測量精度的波前重構方法

有效

• 申請號: 201210237127.6
• 申請日: 2012-07-10
• 公開（公告）號: CN102749143A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 田雨;饒學軍;饒長輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01J9/00
• 分類號: G01J9/00
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明;顧煒

1.一種提高夏克-哈特曼波前傳感器測量精度的波前重構方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：

步驟（1）、記錄夏克-哈特曼波前傳感器探測到的初始波前像差子孔徑排布p_i(x,y)以及哈特曼點陣S₀(x,y)，其中i≤M，M為子孔徑數；

步驟（2）、將初始波前像差根據子孔徑排布p_i(x,y)在計算機上對做區域分割并進行二次成像，得到哈特曼點陣S_est(x,y)；

步驟（3）、根據子孔徑排布p_i(x,y)計算各個子孔徑的質心坐標(g_x,i,g_y,i)并得到各個子孔徑的斜率；

步驟（4）、將各個子孔徑的斜率斜率復原為波前像差

步驟（5）、估計出的波前像差根據子孔徑排布在計算機上重新做區域分割并進行二次成像，得到新的哈特曼點陣S'_est(x,y)；為保持迭代過程符號一致，令：

S_est(x,y)＝S_est(x,y)；

步驟（6）、度量S₀(x,y)與S_est(x,y)的相似性，并以此作為迭代停止條件，若滿足迭代停止條件的要求則輸出波前像差否則轉向步驟（3）繼續迭代。

2.根據權利要求1所述的一種提高夏克-哈特曼波前傳感器測量精度的波前重構方法，其特征在于：所述步驟（1）中的由夏克-哈特曼波前傳感器計算得到；而S₀(x,y)則由夏克-哈特曼波前傳感器的CCD元件給出；p_i(x,y)由夏克-哈特曼波前傳感器的微透鏡排布得到：

pi(x,y)=1,x∈[ai,ai+cx],y∈[bi,bi+cy]0,else]]>

式中，(a_i,b_i)指第i個子孔徑左下角的坐標點，a_i，b_i為(a_i,b_i)的坐標值，c_x與c_y分別指子孔徑在x與y方向上的長度。

3.根據權利要求1所述的一種提高夏克-哈特曼波前傳感器測量精度的波前重構方法，其特征在于：所述步驟（2）中使用p_i(x,y)對進行分割的方法是：

對應的第i個子孔徑，其中i≤M，有：

按此分割，最終可以得到M個