[發明專利]線寬量測裝置及其方法

有效

• 申請號: 201210235618.7
• 申請日: 2012-07-09
• 公開（公告）號: CN102768017A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 林勇佑;王清平
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;H01L21/66
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 歐陽啟明

1.一種線寬量測裝置，其特征在于：所述線寬量測裝置包括：

一平臺，具有一量測區；

一取像裝置，設于所述平臺上方，用于擷取所述量測區一待測圖案的圖形；及

一混色光源裝置，設于所述平臺上方，包括多個單色光源，并根據待測圖案與一標準圖案的匹配率調整各個單色光源的亮度比例。

2.如權利要求1所述的線寬量測裝置，其特征在于：所述線寬量測裝置更包含一控制器，所述控制器連接所述取像裝置，并接收所述取像裝置所獲取的待測圖案的圖形。

3.如權利要求2所述的線寬量測裝置，其特征在于：所述控制器進一步連接所述混色光源裝置，用于根據所述待測圖案與所述標準圖案的匹配率控制所述混色光源裝置調整各個單色光源的亮度比例。

4.如權利要求3所述的線寬量測裝置，其特征在于：所述控制器還用于將該待測圖案的圖形轉換成灰階化圖形，并將灰階化圖形與所述標準圖案進行比較，確認其與標準圖案的匹配率。

5.如權利要求4所述的線寬量測裝置，其特征在于：所述控制器進一步用于在匹配率大于或等于80%時測量該灰階化圖形中的線路的寬度；及在匹配率小于80%時控制所述混色光源裝置調整其各個單色光源的亮度比例。

6.如權利要求1所述的線寬量測裝置，其特征在于：所述混色光源裝置包括紅色光源、藍色光源及綠色光源，可通過混色提供256種不同顏色的照明光源。

7.如權利要求6所述的線寬量測裝置，其特征在于：所述紅色光源、藍色光源及綠色光源分別為紅色發光二極管、藍色發光二極管及綠色發光二極管。

8.一種線寬量測方法，其特征在于：所述量測方法包括下列步驟：

S101：載入標準圖案；

S102：以包括多個單色光源的混色光源裝置對量測區提供照明；

S103：掃描量測區，獲取待測圖案的圖形；

S104：將待測圖案的圖形轉換成灰階化圖形，并將灰階化圖形與標準圖案進行比較，確認其與標準圖案的匹配率；以及

S105：若匹配率大于或等于一特定值，進一步測量該灰階化圖形中的線路的寬度，若匹配率小于所述特定值，則進一步調整各個單色光源的亮度比例，再進行照射，并重新執行步驟S103、步驟S104及步驟S105。

9.如權利要求8所述的線寬量測方法，其特征在于：所述特定值為80%。

10.如權利要求8所述的線寬量測方法，其特征在于：所述混色光源裝置包括紅色光源、藍色光源及綠色光源，步驟S105中所述調整各個單元光源的亮度比例具體為：調整紅色光源、藍色光源及綠色光源的亮度比例。