[發(fā)明專利]一種藍寶石工件粘膠臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210234918.3
• 申請日: 2012-07-09
• 公開（公告）號: CN102785298A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳益軍;鄒維
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江上城科技有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
• 代理人: 吳輝輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于藍寶石加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種藍寶石工件粘膠臺。

背景技術(shù)

藍寶石硬度高、熔點高、透光性好，化學(xué)性能穩(wěn)定，廣泛應(yīng)用于機械、光學(xué)、信息等高技術(shù)領(lǐng)域。人工生長的藍寶石具有很好的耐磨性，硬度僅次于金剛石達到莫氏9級。由于藍寶石硬度高而且脆性大，故對其進行機械加工非常困難，尤其是GaN生長的藍寶石襯底片，其精密加工技術(shù)更是復(fù)雜，是當今重點研究的課題之一。

藍寶石襯底晶片是LED產(chǎn)業(yè)鏈的核心環(huán)節(jié)，以往這種產(chǎn)品的制造技術(shù)都被國外公司壟斷，其關(guān)鍵技術(shù)和專利多掌握在美、日大廠手中，為迅速切入該領(lǐng)域，國內(nèi)企業(yè)大多只能以“加工模式”與外資合作，購買外資提供的技術(shù)和設(shè)備后組織生產(chǎn)。

在藍寶石上切割設(shè)備切割之前，需要將藍寶石晶棒固定在工件板上形成切割工件才能進行單線或多線切割。藍寶石晶棒粘膠和硅棒粘膠不同處在于，藍寶石切割時有晶向角度要求，它的偏差需要控制在0.1度以內(nèi)，所以在粘膠時藍寶石晶棒與工件板的平行度和晶棒端面垂直度要求比較高。

現(xiàn)有的藍寶石粘膠臺是通過安裝X光定向的方法來調(diào)整晶棒位置，需要多個方向進行多次定向，費時費工，同時價格非常昂貴，阻礙其推廣應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種藍寶石工件粘膠臺，同樣能實現(xiàn)藍寶石晶棒的定向，同時結(jié)構(gòu)簡單方便，成本低廉，可以同時進行多個方向的晶棒定向，省時省力。

本發(fā)明的具體技術(shù)方案是：

一種藍寶石工件粘膠臺，其特征在于所述粘膠臺包含

操作臺面，包含一個垂直臺柱；

定位裝置，用于調(diào)整工件裝置位置的裝置；

定向裝置，用于晶棒晶向角度測向的裝置；

工件裝置，用于固定藍寶石晶棒的裝置；

所述定向裝置包括固定在三維笛卡爾坐標系主軸上的三個千分表。

所述定位裝置包括

水平位置調(diào)整裝置，包含一側(cè)邊緣抵靠操作臺面垂直臺柱上的粘膠平臺，粘膠平臺兩側(cè)邊緣設(shè)有用于調(diào)整晶棒與工件板平行度的位移調(diào)整部件；

垂直位置調(diào)整裝置，包含設(shè)于操作臺面垂直臺柱上的垂直調(diào)整橫梁，垂直調(diào)整橫梁兩端設(shè)有用于調(diào)整晶棒垂直度的調(diào)整螺絲。

所述工件裝置，從上至下為藍寶石晶棒、樹脂板、工件板，工件板卡接于粘膠平臺。

所述垂直位置調(diào)整裝置還包括三個水平位置可調(diào)的固定旋鈕。

所述水平位置調(diào)整裝置包括沿臺柱側(cè)的水平調(diào)整橫梁及另一側(cè)邊角的限位塊，限位塊設(shè)有用于調(diào)整限位塊與粘膠平臺相對位置的微調(diào)螺絲。

所述操作臺面含有三條相互兩兩垂直導(dǎo)軌，千分表固定于導(dǎo)軌的滑塊上。

一種藍寶石工件粘膠固定方法，其特征在于該方法包括以下步驟：

A、將藍寶石工件放置在工件板上，根據(jù)千分表數(shù)據(jù)，用水平位置調(diào)整裝置調(diào)整調(diào)整晶棒與工件板平行度，然后用鎖緊螺絲固定；

B、?根據(jù)千分表數(shù)據(jù)，用垂直位置調(diào)整裝置調(diào)整晶棒垂直度并固定位置；

C、在樹脂板和工件底部涂膠，用固定旋鈕緊固。

附圖說明

圖1為本發(fā)明藍寶石工件粘膠臺結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，晶棒1，樹脂板2，工件板3，粘膠平臺4，限位塊5，水平調(diào)整橫梁6，固定旋鈕7A，固定旋鈕7B，固定旋鈕7C，滑塊8，滑塊9，滑塊10，導(dǎo)軌11A，導(dǎo)軌11B，導(dǎo)軌11C，垂直調(diào)整橫梁12，鎖緊螺絲13A，鎖緊螺絲13B，微調(diào)螺絲51，操作臺面100，臺柱101，調(diào)整螺絲121。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步的描述。

如圖1所示，藍寶石工件粘膠臺含有操作臺面100，操作臺面100上設(shè)有一個垂直臺柱101，操作臺面100上還含有三條相互兩兩垂直導(dǎo)軌11A、11B和11C，千分表固定于導(dǎo)軌的滑塊8、9和10上。

工件裝置從上至下為藍寶石晶棒1、樹脂板2、工件板3，工件板3卡接于粘膠平臺4中部。

水平位置調(diào)整裝置包含一側(cè)邊緣抵靠操作臺面100垂直臺柱101上的粘膠平臺4，水平位置調(diào)整裝置包括沿臺柱側(cè)的水平調(diào)整橫梁6及另一側(cè)邊角的限位塊5，限位塊5設(shè)有用于調(diào)整限位塊5與粘膠平臺4相對位置的微調(diào)螺絲51。

垂直位置調(diào)整裝置，包含設(shè)于操作臺面100垂直臺柱101上的垂直調(diào)整橫梁12，垂直調(diào)整橫梁12兩端設(shè)有用于調(diào)整晶棒垂直度的調(diào)整螺絲121；垂直位置調(diào)整裝置還包括三個水平位置可調(diào)的固定旋鈕7A、7B和7C，一般水平固定位置為兩端及中部，起到均勻受力的作用。