[發(fā)明專利]板材鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210234626.X
• 申請(qǐng)日: 2012-07-06
• 公開（公告）號(hào): CN103526167A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊憲杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 楊憲杰
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 深圳市國(guó)科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44296
• 代理人: 陳永輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種板材涂層加工設(shè)備，尤其是一種板材鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

由于常規(guī)能源的大力開發(fā)利用，造成世界范圍內(nèi)的環(huán)境污染日趨嚴(yán)重。世界上很多國(guó)家已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，太陽能作為可再生能源，在持久使用環(huán)境資源為人類造福方面將起到十分巨大的作用。有著豐富太陽能資源的中國(guó)，已于2006年1月1日起正式實(shí)施《可再生能源法》，同時(shí)，國(guó)家“十一五”規(guī)劃綱要也已把可再生資源的發(fā)展作為一項(xiàng)重要任務(wù)，因此太陽能熱器本身具有巨大的潛在的推廣應(yīng)用價(jià)值。近年來，平板式太陽能集熱器由于其具有承壓能力強(qiáng)，吸熱面積大等特點(diǎn)，是太陽能與建筑一體化結(jié)合最佳的集熱器類型。而平板式太陽能集熱器的核心技術(shù)就在于板芯表面的吸收涂層，吸收涂層的質(zhì)量，決定著整個(gè)集熱器的性能。

現(xiàn)有的涂層鍍制設(shè)備一般為多個(gè)真空室：裝料閉鎖和閥門室、工藝室和起料室。工藝室的端部直接在輸送系統(tǒng)上。各種附件可以放置在工藝室中以實(shí)現(xiàn)各種磁控環(huán)境和固定磁控濺射源。這種設(shè)備的每一個(gè)工藝室都只能鍍制一種膜層，因此在鍍制多層太陽能吸熱涂層的時(shí)候，就需要多個(gè)工藝室，各腔室之間需要若干真空封閉裝置，工作線很長(zhǎng)，難于控制，質(zhì)量不穩(wěn)定，導(dǎo)致設(shè)備成本高昂，體積龐大。而且這種鍍制設(shè)備的生產(chǎn)效率和成品率也比較低。上述的這個(gè)技術(shù)問題，長(zhǎng)期存在與板式太陽能行業(yè)中，至今沒有得到有效的解決。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、鍍膜工藝質(zhì)量易于控制且穩(wěn)定的太陽能集熱板芯鍍膜設(shè)備。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

它包括：

殼體，殼體內(nèi)部設(shè)有容置空間；

第一收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于繞制待鍍膜金屬板材并通過旋轉(zhuǎn)釋放金屬板材；

第二收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于接收已鍍膜金屬板材并旋轉(zhuǎn)回收于收放卷上；

靶材,設(shè)于金屬板材運(yùn)行路徑的兩側(cè)用于對(duì)金屬板材進(jìn)行磁控濺射鍍膜；

殼體上對(duì)應(yīng)于靶材的位置設(shè)置有艙門。

上述結(jié)構(gòu)中，在金屬板材的運(yùn)行路徑上設(shè)有用于調(diào)節(jié)金屬板材的張緊度的浮動(dòng)輥，手動(dòng)或自動(dòng)控制浮動(dòng)輥的位置實(shí)現(xiàn)對(duì)板料的糾偏；所述的殼體上設(shè)有傳感器，通過傳感器檢測(cè)浮動(dòng)輥的升降對(duì)收放卷的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)。

上述結(jié)構(gòu)中，第一收放卷2和第二收放卷3上各預(yù)裝有一段金屬板材，待鍍膜板材兩端分別和第一收放卷2和第二收放卷3上的預(yù)留板材連接，以實(shí)現(xiàn)對(duì)所有待鍍膜板材的鍍膜。上述結(jié)構(gòu)中，所述的殼體內(nèi)中部還設(shè)有用于減少殼體內(nèi)無效空間的封閉艙,封閉艙兩側(cè)設(shè)有加熱器。

上述結(jié)構(gòu)中，所述的殼體為立式殼體，所述的第一收放卷和第二收放卷設(shè)于殼體內(nèi)部上方，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于殼體內(nèi)部下方，所述的封閉艙設(shè)于金屬板材由第一收放卷經(jīng)浮動(dòng)輥到第二收放卷形成的U形路徑范圍中，所述的靶材設(shè)于與封閉艙相對(duì)的兩側(cè)殼體內(nèi)壁上。上述結(jié)構(gòu)中，所述的殼體為立式殼體，所述的第一收放卷和第二收放卷設(shè)于殼體內(nèi)部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分別設(shè)置第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于第一收放卷、第二收放卷、第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥之間的位置，所述的封閉艙設(shè)于金屬板材由第一導(dǎo)向輥經(jīng)浮動(dòng)輥到第二導(dǎo)向輥形成的U形路徑范圍中，金屬板材由第一收放卷經(jīng)第一導(dǎo)向輥到浮動(dòng)輥形成的U形路徑范圍中和金屬板材由浮動(dòng)輥經(jīng)第一導(dǎo)向輥到第二收放卷形成的U形路徑范圍中分別設(shè)置一組靶材。

上述結(jié)構(gòu)中，所述的殼體為臥式殼體，所述的第一收放卷和第二收放卷設(shè)于殼體內(nèi)部一端，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于殼體內(nèi)部另一端，所述的封閉艙設(shè)于金屬板材由第一收放卷經(jīng)浮動(dòng)輥到第二收放卷形成的U形路徑范圍中，所述的靶材設(shè)于與封閉艙相對(duì)的兩側(cè)殼體內(nèi)壁上。

上述結(jié)構(gòu)中，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于一垂直或水平的浮動(dòng)輥支架上，浮動(dòng)輥可相對(duì)于浮動(dòng)輥支架垂直或水平運(yùn)動(dòng)。

由于采用了上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的太陽能集熱板芯鍍膜設(shè)備在殼體內(nèi)部形成一金屬板材由第一收放卷到第二收放卷的釋放和回收的路徑，將靶材設(shè)于金屬板材的運(yùn)行路徑的兩側(cè)進(jìn)行磁控濺射鍍膜，使得內(nèi)部部件的結(jié)構(gòu)緊湊，整機(jī)體積小巧，而且整個(gè)運(yùn)行過程持續(xù)穩(wěn)定可控，極大的提高了鍍膜工藝的品質(zhì)，加強(qiáng)了吸熱板芯的吸熱效果，提高了光能的轉(zhuǎn)化效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的平面內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例的立體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明第二實(shí)施例的平面內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明第二實(shí)施例的立體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明第三實(shí)施例的平面內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明第三實(shí)施例的立體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；