[發明專利]具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備無效
| 申請號： | 201210233581.4 | 申請日： | 2012-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN103526188A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發明（設計）人： | 朱守權 | 申請（專利權）人： | 揚州鑫晶光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/52 | 分類號： | C23C16/52;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/50 |
| 代理公司： | 揚州市錦江專利事務所 32106 | 代理人： | 陳君偉 |
| 地址： | 225600 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 風機 自動控制系統 pecvd 設備 | ||
【權利要求書】：
1.具有熱排風機自動控制系統的PECVD設備，包括爐管，爐管的一側設置舟托裝置，舟托裝置上設置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟托裝置的上方間隔設置熱排裝置，熱排裝置包括風機電控柜，其特征在于：所述風機電控柜內設置繼電器，所述舟托裝置上連接感應器，感應器的信號輸出端與繼電器連接。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
