[發明專利]一種鈮酸鋰襯底及其制造方法有效
| 申請號: | 201210232239.2 | 申請日: | 2012-07-04 |
| 公開(公告)號: | CN102732965A | 公開(公告)日: | 2012-10-17 |
| 發明(設計)人: | 丁海生;李東昇;馬新剛;江忠永;張昊翔;王洋;李超 | 申請(專利權)人: | 杭州士蘭明芯科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/30 | 分類號: | C30B29/30 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 鄭瑋 |
| 地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 鈮酸鋰 襯底 及其 制造 方法 | ||
1.一種鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,采用鈮酸鋰晶體生長為鈮酸鋰襯底,在所述鈮酸鋰晶體生長的過程中摻入光折變元素。
2.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述光折變元素為鐵、銅、錳、鈰中的一種或多種。
3.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,采用多光束激光干涉法,利用相干激光束照射所述鈮酸鋰襯底,對所述鈮酸鋰襯底的表面進行折射率的調制。
4.如權利要求3所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述多光束激光干涉法采用的激光束的光束形式為平面波或球面波或柱面波。
5.如權利要求3或4所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述多光束激光干涉法采用兩條以上的激光束進行相互干涉。
6.如權利要求3所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,利用所述相干激光束一次或多次照射所述鈮酸鋰襯底,照射時間為10秒-10分鐘。
7.如權利要求3所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底的表面具有周期性變化的折射率,所述周期性變化為一維周期性,或為多維周期性。
8.如權利要求7所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述周期性變化的折射率的變化周期由所述相干激光束之間的夾角決定,當夾角越大,周期越小;當夾角越小,周期越大。
9.如權利要求8所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述相干激光束之間的夾角大于0度且小于180度。
10.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底表面平坦。
11.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底的制造方法,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底表面具有圖形化的結構。
12.一種鈮酸鋰襯底,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底通過生長鈮酸鋰晶體形成,所述鈮酸鋰襯底為在所述鈮酸鋰晶體的生長的過程中摻入光折變元素的襯底。
13.如權利要求12所述的鈮酸鋰襯底,其特征在于,所述光折變元素為鐵、銅、錳、鈰中的一種或多種。
14.如權利要求12所述的鈮酸鋰襯底,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底的表面具有周期性變化的折射率,所述周期性變化為一維周期性,或為多維周期性。
15.如權利要求12所述的鈮酸鋰襯底,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底表面平坦。
16.如權利要求12所述的鈮酸鋰襯底,其特征在于,所述鈮酸鋰襯底表面具有圖形化的結構。
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