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[發明專利]單晶硅棒粘接機無效

專利信息
申請號: 201210231345.9 申請日: 2012-07-05
公開(公告)號: CN102732968A 公開(公告)日: 2012-10-17
發明(設計)人: 丁國發 申請(專利權)人: 江蘇奧凱自動化設備技術有限公司
主分類號: C30B33/06 分類號: C30B33/06
代理公司: 揚州市錦江專利事務所 32106 代理人: 陳君偉
地址: 225654 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單晶硅 接機
【權利要求書】:

1.單晶硅棒粘接機,其特征在于:主要包括粘接機底座、橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌、晶座裝卸固定立座、硅棒校準橫移尾座、第一晶棒夾持裝置、第二晶棒夾持裝置、電加熱裝置和冷卻風機;粘接機底座水平布置,橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌依次橫向固定在粘接機底座上;晶座裝卸固定立座固定連接在粘接機底座的左側,晶座裝卸固定立座的上部中心設有T型螺栓導向孔,T型螺栓導向孔內穿置有晶座固定用T型螺栓;所述第一晶棒夾持裝置置于晶座裝卸固定立座右側,第一晶棒夾持裝置主要包括硅棒夾持裝置底座、硅棒夾持裝置立板、左夾具、右夾具、絲桿、絲桿螺母、左、右夾具前后橫移直線導軌和左、右夾具前后橫移直線導軌滑塊;第一晶棒夾持裝置的底部固定連接有第一晶棒夾持裝置滑塊,通過底部的第一晶棒夾持裝置滑塊將第一晶棒夾持裝置布置在橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌和第二左右橫移直線導軌上,布置在橫移鎖緊桿上的第一晶棒夾持裝置滑塊的外側設有硅晶棒夾持裝置鎖緊螺母,用于限定第一晶棒夾持裝置的位置;硅棒夾持裝置立板垂直固定在硅棒夾持裝置底座上,硅棒夾持裝置立板的右側下部固定連接有縱向布置的左、右夾具前后橫移直線導軌,左右夾、具前后橫移直線導軌的左右兩側分別設有前后橫移直線導軌滑塊,左側的前后橫移直線導軌滑塊上固定連接左夾具,右側的前后橫移直線導軌滑塊上固定連接右夾具;在夾持裝置前后橫移直線導軌上方的硅棒夾持裝置立板上固定連接有縱向布置的絲桿,絲桿兩側的螺紋相反,絲桿的外端固定連接有手柄,絲桿兩側分別設有絲桿螺母,左側的絲桿螺母和左夾具固定連接,右側的絲桿螺母和右夾具固定連接;第二晶棒夾持裝置布置在第一夾持裝置的右側,第二晶棒夾持裝置和第一晶棒夾持裝置相對布置,并且結構與第一晶棒夾持裝置相同;所述硅棒校準橫移尾座布置在第二晶棒夾持裝置的右側,硅棒校準橫移尾座的下端設有硅棒校準橫移尾座滑塊,通過硅棒校準橫移尾座滑塊將硅棒校準橫移尾座布置在第一左右橫移直線導軌和第二左右橫移直線導軌上,硅棒校準橫移尾座的上部中心設有校準座螺栓導向孔,校準座螺栓導向孔內穿置有校準座固定用T型螺栓;所述冷卻風機和電加熱裝置通過底部滑塊置于加熱冷卻橫移導軌上,所述電加熱裝置包括支架和電加熱板,加熱板鉸連接于支架上。

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