[發(fā)明專利]一種設(shè)有限位器的前線機械手的末端執(zhí)行器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210231291.6 | 申請日： | 2012-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN103522294A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 賈朋利;任逸 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 主分類號： | B25J15/00 | 分類號： | B25J15/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 張靜潔;徐雯瓊 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 設(shè)有 限位器 前線 機械手 末端 執(zhí)行 | ||
1.一種設(shè)有限位器的前線機械手的末端執(zhí)行器，該末端執(zhí)行器包含：
水平設(shè)置的基座（1）；
固定在所述基座（1）上的驅(qū)動裝置（2），該驅(qū)動裝置包含壓縮機（22），以及套設(shè)在壓縮機（22）芯軸上的彈簧（21）；壓縮機（22）連通外接的壓縮干燥空氣；
通過導(dǎo)軌架設(shè)在所述基座（1）上的傳動板（3），導(dǎo)軌方向與驅(qū)動裝置（2）軸向平行；該傳動板（3）連接所述壓縮機（22）的芯軸；
弧形的機械爪（4），其設(shè)置在于傳動板（3）的端部，該機械爪（4）的弧形與晶圓外緣相適配；
所述的傳動板（3）上，設(shè)有機械爪（4）的一端為頂端，與頂端相對的一端為尾端；
其特征在于，所述的基座（1）上還固定有限位器（5），該限位器（5）設(shè)置于所述傳動板（3）的尾端處，其與傳動板（3）的尾端端部之間的距離小于驅(qū)動裝置（2）中壓縮機（22）的最大收縮距離，該限位器（5）通過限制傳動板（3）的移動距離，來限制彈簧（21）的收縮距離。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)有限位器的前線機械手的末端執(zhí)行器，其特征在于，所述的限位器（5）采用塑料制成。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)有限位器的前線機械手的末端執(zhí)行器，其特征在于，所述的限位器（5）沿壓縮機（22）軸向的長度為0.5厘米。
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