[發(fā)明專(zhuān)利]實(shí)時(shí)調(diào)整的頂針機(jī)構(gòu)及其系統(tǒng)及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210231232.9
• 申請(qǐng)日: 2012-07-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102751218A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李蔚然
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳翠濤自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44268
• 代理人: 王永文;楊宏

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及固晶封裝設(shè)備領(lǐng)域，更具體的說(shuō)涉及的是一種實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)及其系統(tǒng)及其方法的改進(jìn)。

背景技術(shù)

在固晶封裝過(guò)程的拾晶步驟中，要想將粘在藍(lán)膜上的晶片拾起，除了給吸嘴提供足夠的真空外，還需頂針將晶片頂起，以使得晶片脫離藍(lán)膜。

現(xiàn)有技術(shù)中，用于實(shí)時(shí)觀測(cè)晶片位置的攝像頭設(shè)置在固晶執(zhí)行裝置的上方，頂針機(jī)構(gòu)設(shè)置在固晶執(zhí)行裝置的下方。在拾晶過(guò)程中，首先需要利用晶圓盤(pán)平臺(tái)將晶片運(yùn)送到攝像頭的下方，使晶片中心與攝像頭中心在一條縱垂線(xiàn)，故攝像頭中心等同于晶片中心；然后頂針將晶片頂起，以使得晶片脫離藍(lán)膜。

在頂針將晶片頂起時(shí)，一定要保證攝像頭中心、吸嘴中心、頂針中心這三個(gè)點(diǎn)必須在同一條縱垂線(xiàn)上（以下稱(chēng)作三點(diǎn)一線(xiàn)，如不設(shè)置攝像頭則稱(chēng)為二點(diǎn)一線(xiàn)），以保證固晶位不會(huì)偏移，達(dá)到固晶的最佳效果。

三點(diǎn)一線(xiàn)（或二點(diǎn)一線(xiàn)）對(duì)固晶質(zhì)量起著關(guān)鍵作用，因此，對(duì)于三點(diǎn)一線(xiàn)（或二點(diǎn)一線(xiàn)）的調(diào)整要求是非常嚴(yán)格的，在生產(chǎn)過(guò)程中必須一直保證三點(diǎn)一線(xiàn)（或二點(diǎn)一線(xiàn)）。同時(shí)，在固晶持續(xù)一段時(shí)間后，隨著運(yùn)動(dòng)摩擦使機(jī)械本身溫度升高或者零配件磨損也會(huì)造成三點(diǎn)一線(xiàn)（或二點(diǎn)一線(xiàn)）偏置現(xiàn)象。

在出現(xiàn)偏置情況時(shí)，通常需要停機(jī)后先調(diào)整攝像頭位置，使得十字線(xiàn)中心對(duì)準(zhǔn)吸嘴中心，然后再將吸嘴移開(kāi)，通過(guò)頂針將晶圓藍(lán)膜戳穿，再將頂針座調(diào)整至攝像頭十字線(xiàn)中心位置，使頂針中心與攝像頭中心、吸嘴中心處于同一條縱垂線(xiàn)上。

上述調(diào)整過(guò)程完全采用手動(dòng)操作，尤其是針對(duì)三點(diǎn)一線(xiàn)（或二點(diǎn)一線(xiàn)）的調(diào)整因其要求很高，手動(dòng)操作調(diào)整需要耗費(fèi)大量的時(shí)間，而且同時(shí)，生產(chǎn)線(xiàn)需要停工，因而生產(chǎn)效率低。

因此，現(xiàn)有技術(shù)尚有待改進(jìn)和發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)及其系統(tǒng)及其方法，以解決現(xiàn)有的頂針結(jié)構(gòu)生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)，其中，包括頂針機(jī)構(gòu)，及用于實(shí)時(shí)調(diào)整所述頂針機(jī)構(gòu)的位置，使頂針機(jī)構(gòu)的頂針中心與固晶執(zhí)行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線(xiàn)上的控制裝置;

所述頂針機(jī)構(gòu)包括平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、設(shè)置在平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的頂針及頂針頂端的頂針中心;

所述控制裝置包括以下功能模塊：

用于獲取吸嘴中心位置圖像的圖像獲取模塊；

用于通過(guò)計(jì)算獲得吸嘴中心的位置坐標(biāo)值的圖像處理模塊；

用于傳送吸嘴中心的位置坐標(biāo)值的運(yùn)動(dòng)控制模塊；

用于接收所述吸嘴中心的位置坐標(biāo)值，并控制頂針機(jī)構(gòu)移動(dòng)，使頂針機(jī)構(gòu)與固晶執(zhí)行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線(xiàn)上的驅(qū)動(dòng)器。

所述的實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)，其中，所述位置坐標(biāo)值包括水平面內(nèi)直角坐標(biāo)系上的X軸坐標(biāo)值及Y軸坐標(biāo)值。

所述的實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)，其中，所述位置坐標(biāo)值包括水平面內(nèi)極坐標(biāo)系上的極徑和極角。

一種實(shí)時(shí)調(diào)整的頂針機(jī)構(gòu)，其中，用于配合實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)，使頂針機(jī)構(gòu)的頂針中心與固晶執(zhí)行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線(xiàn)上，所述頂針機(jī)構(gòu)包括平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、設(shè)置在平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的頂針及頂針頂端的頂針中心。

所述的頂針機(jī)構(gòu)，其中，所述平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，設(shè)置在Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述頂針設(shè)置在X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的頂針。

所述的頂針機(jī)構(gòu)，其中，所述平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或極軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，設(shè)置在直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或極軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的極軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述頂針設(shè)置在極軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上。

所述的頂針機(jī)構(gòu)，其中，所述平面運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有與所述驅(qū)動(dòng)器連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

一種實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的方法，其中，用于實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)位置，使頂針機(jī)構(gòu)的頂針中心與固晶執(zhí)行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線(xiàn)上，所述方法包括以下步驟：

A、獲取吸嘴中心位置圖像；

B、通過(guò)計(jì)算獲得吸嘴中心的位置坐標(biāo)值；

C、將所述吸嘴中心的位置坐標(biāo)值傳送給驅(qū)動(dòng)器；

D、驅(qū)動(dòng)器控制頂針機(jī)構(gòu)移動(dòng)，使頂針中心與固晶執(zhí)行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線(xiàn)上。

所述的實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的方法，其中，所述位置坐標(biāo)值包括水平面內(nèi)直角坐標(biāo)系上的X軸坐標(biāo)值及Y軸坐標(biāo)值。

所述的實(shí)時(shí)調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)的方法，其中，所述位置坐標(biāo)值包括水平面內(nèi)極坐標(biāo)系上的極角和極徑。