[發(fā)明專利]多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210230252.4
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN103526286A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顏衛(wèi)兵;沈理
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江宏業(yè)新能源有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置。

背景技術(shù)

鑄錠多晶硅存在大量的晶界，晶界是指晶粒與晶粒之間的分界面，潔凈的晶界不顯活性，對少數(shù)載流度壽命并無影響或者只有微小的影響，但是雜質(zhì)易于在晶界處偏聚或沉淀，此時晶界將具有電活性，會顯著降低少數(shù)載流度壽命，晶界越多影響越大。而現(xiàn)有的多晶鑄錠爐由于加熱結(jié)構(gòu)設(shè)計上的不足，難以滿足生產(chǎn)要求，難以精確控制硅錠的生產(chǎn)溫度，最終導(dǎo)致轉(zhuǎn)換效率偏低，硅錠生成不均勻。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置。

具體方案如下：

一種多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置，多晶鑄錠爐包括爐殼，爐殼頂部為爐蓋；其特征在于：爐殼內(nèi)為保溫層，保溫層內(nèi)設(shè)坩堝，坩堝上方設(shè)有上加熱器；坩堝底部設(shè)有底座，底座下方設(shè)有加熱板；坩堝外側(cè)壁縱截面上對稱設(shè)有若干組加熱器，構(gòu)成環(huán)狀加熱器；加熱板下方設(shè)有熱門。?

優(yōu)選的，熱門下方設(shè)有前后左右四塊可調(diào)開度擋板，四塊擋板由減速電機控制。

優(yōu)選的，爐殼頂部中央設(shè)有紅外測溫儀。

優(yōu)選的，可調(diào)開度擋板下方設(shè)有冷卻銅板。

有益效果：

本發(fā)明的多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置采用上加熱器和加熱板配置并在熱場四周增設(shè)了可以獨立控制的環(huán)狀加熱器，在結(jié)晶過程中環(huán)狀加熱器開啟供熱用于補償熱場四壁的熱損失；保持整個熱場溫度的均勻性，在橫截面上，溫度梯度為零。縱向溫度由下而上溫度梯度逐減，并隨晶體生長的溫度需要可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。可以完美控制結(jié)晶過程長晶溫度梯度，有效的降低了晶界的產(chǎn)生，保證晶錠的轉(zhuǎn)換效率及質(zhì)量；可調(diào)開度擋板彌補了傳統(tǒng)多晶爐只能依靠熱門開關(guān)控制晶體生長的單一方式，可通過減速電機對四塊擋板的控制，逐級控制晶體生長過程；紅外測溫儀用于檢測坩堝底部的溫度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1-可調(diào)開度檔板、2-上加熱器、3-坩堝、4-減速電機、5-冷卻銅板、6-紅外測溫儀、7-爐蓋、8-爐殼、9-保溫層、10-熱門、11-底座、12-加熱板、13-環(huán)狀加熱器。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

一種多晶鑄錠爐精準(zhǔn)調(diào)溫裝置，多晶鑄錠爐包括爐殼8，爐殼8頂部為爐蓋7；其特征在于：爐殼8內(nèi)為保溫層9，保溫層9內(nèi)設(shè)坩堝3，坩堝3上方設(shè)有上加熱器2；坩堝3底部設(shè)有底座11，底座11下方設(shè)有加熱板12；坩堝3外側(cè)壁縱截面上對稱設(shè)有若干組加熱器，構(gòu)成環(huán)狀加熱器13；加熱板12下方設(shè)有熱門10。?熱門10下方設(shè)有前后左右四塊可調(diào)開度擋板1，四塊擋板由減速電機4控制。可調(diào)開度擋板1下方設(shè)有冷卻銅板5。爐殼8頂部中央設(shè)有紅外測溫儀6。

檢測是通過三個紅外測溫儀和兩個熱電偶實現(xiàn)的測溫。檢測點設(shè)在近底部的兩側(cè)對應(yīng)端，和頂端。還有冷卻水控制系統(tǒng)也是控溫的主要手段。各冷卻水路都設(shè)置了進(jìn)水溫度和回水溫度的測控系統(tǒng)，使得每一路水循環(huán)都能夠隨著長晶工藝需要做流量調(diào)整，使溫度梯度能精準(zhǔn)得以控制。

最后，還需要注意的是，以上列舉的僅是本發(fā)明的具體實施例子，顯然，本發(fā)明不限于以上實施例子，還可以有許多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本發(fā)明公開的內(nèi)容直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形，均應(yīng)認(rèn)為是本發(fā)明的保護(hù)范圍。