[發明專利]一種掠角磁控濺射沉積工藝裝備

無效

• 申請號: 201210230054.8
• 申請日: 2012-07-05
• 公開（公告）號: CN102703875A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 曹永智;張俊杰;吳超;胡振江;史立秋
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掠角磁控濺射沉積工藝裝備，其特征是：所述的裝備包括步進電機（1）、基體平面調整機構（2）及基體旋轉約束機構（3）；基體平面調整機構（2）包括基體平面調整傳動軸（2-1）、分度盤（2-2）、基體平面調整旋鈕（2-3）、基體平面調整殼體（2-4）及基體平面調整架（2-5）；基體旋轉約束機構（3）包括基體托盤（3-1）、傳動蝸輪（3-2）、傳動蝸桿（3-3）、平行板約束沉積機構（3-4）及約束機構調整架（3-5）；平行板約束沉積機構（3-4）包括沉積約束平行板（3-4-1）及沉積約束擋板（3-4-2）；步進電機（1-1）的輸出軸與設置在真空室（5）內的傳動蝸桿（3-3）傳動連接，傳動蝸桿（3-3）與傳動蝸輪（3-2）嚙合，傳動蝸輪（3-2）設有中心圓錐孔，基體托盤（3-1）上設有連接軸，連接軸外側面設有與傳動蝸輪（3-2）的中心圓錐孔相配合的圓錐面，傳動蝸輪（3-2）與基體托盤（3-1）通過圓錐面預緊連接，基體平面調整傳動軸（2-1）與傳動蝸桿（3-3）同軸設置，分度盤（2-2）固定套裝在基體平面調整傳動軸（2-1）上，分度盤（2-2）設有連體蝸輪，基體平面調整傳動軸（2-1）與基體平面調整架（2-5）二者的相鄰端均同軸設有法蘭，基體平面調整傳動軸（2-1）及基體平面調整架（2-5）通過法蘭連接，基體平面調整架（2-5）上裝有約束機構調整架（3-5），基體平面調整旋鈕（2-3）安裝在基體平面調整殼體（2-4）上，基體平面調整旋鈕（2-3）中部設有旋鈕蝸桿，基體平面調整旋鈕（2-3）的旋鈕蝸桿與分度盤（2-2）的連體蝸輪嚙合，基體平面調整殼體（2-4）套裝在分度盤（2-2）的外部，基體平面調整殼體（2-4）固定于真空室5的外側面，平行板約束沉積機構（3-4）安裝在約束機構調整架（3-5）上，且沉積約束平行板（3-4-1）與基體托盤（3-1）平行設置，沉積約束擋板（3-4-2）與沉積約束平行板平行設置并位于沉積約束平行板的后面，沉積約束擋板（3-4-2）上開有平行于沉積約束平行板（3-4-1）平面的窄縫（3-4-3）。

2.如權利要求1所述的一種掠角磁控濺射沉積工藝裝備，其特征是：沉積約束平行板（3-4-1）的外形為圓形板，沉積約束擋板（3-4-2）為半圓形板。