[發明專利]一種結構緊湊型kHz準分子激光器全固態脈沖激勵源

有效

• 申請號: 201210229966.3
• 申請日: 2012-07-04
• 公開（公告）號: CN102801093A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 王慶勝;游利兵;方曉東;余吟山;厲彥超;梁勖;王效順;趙家敏
• 申請（專利權）人: 中國科學院安徽光學精密機械研究所
• 主分類號: H01S3/09
• 分類號: H01S3/09
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種結構緊湊型kHz準分子激光器全固態脈沖激勵源，其特征在于：包括直流電源、濾波電容C₀、升壓脈沖變壓器T、磁脈沖壓縮開關電路、水冷散熱器、油箱，所述的直流電源與濾波電容C₀并聯后經半導體開關IGBT、電感L₀接入升壓脈沖變壓器T的初級兩端，所述的升壓脈沖變壓器T的初級線圈一端連接電感L₀，另一端連接濾波電容C₀的一端,所述的升壓脈沖變壓器T的次級線圈接入磁脈沖壓縮開關電路，所述的磁脈沖壓縮開關電路包括三個相互并聯的電容C₁、C₂、C_d，所述的電容C₁、C₂、C_d的低電位端共同接地，所述的電容C₁與電容C₂的高電位端間連接有磁脈沖壓縮開關MS₁，所述的電容C₂與電容C_d的高電位端間連接有磁脈沖壓縮開關MS₂，所述的電容C₁的兩端連接在脈沖升壓變壓器T的次級線圈兩端，濾波電容C₀、電感L₀、脈沖升壓變壓器T、電容C₁組成脈沖升壓諧振回路，所述的直流電源輸出的直流電壓經升壓、諧振翻倍后形成的脈沖電壓，由磁脈沖壓縮開關電路壓縮后獲得高壓快脈沖；所述的半導體開關IGBT安裝于水冷散熱器上，水冷散熱器置于裝有水冷機的水冷循環系統中，升壓脈沖變壓器T和兩個磁脈沖壓縮開關MS₁、MS₂置于充滿變壓器油的油箱中，水冷散熱器與油箱之間連接有多層熱交換器，水冷散熱器連接熱交換器的冷媒通道，油箱連接熱交換器的熱媒通道。

2.根據權利要求1所述的結構緊湊型kHz準分子激光器全固態脈沖激勵源，其特征在于：包括有激勵源控制系統，所述的油箱中設有一個熱敏電阻，熱敏電阻的一端連接激勵源控制系統，所述溫控開關實時探測水冷散熱器的溫度，溫控開關一端連接激勵源控制系統。

3.根據權利要求1所述的結構緊湊型kHz準分子激光器全固態脈沖激勵源，其特征在于：所述的油箱中的變壓器油通過油泵進行循環。