[發(fā)明專利]磁性隧道結(jié)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210229507.5 | 申請日: | 2012-07-03 |
| 公開(公告)號: | CN103531707A | 公開(公告)日: | 2014-01-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 吳昊;張佳;余天;張曉光;韓秀峰 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院物理研究所 |
| 主分類號: | H01L43/08 | 分類號: | H01L43/08 |
| 代理公司: | 北京泛華偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;王博 |
| 地址: | 100190 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 磁性 隧道 | ||
1.一種磁性隧道結(jié),包括具有勢壘層的核心多層膜結(jié)構(gòu),其特征在于:所述勢壘層由具有尖晶石結(jié)構(gòu)的以化學(xué)式AB2O4所表示的材料組成,厚度為0.5~5.0nm,其中A、B為金屬元素。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,所述AB2O4為MgAl2O4、ZnAl2O4、SiMg2O4、SiZn2O4、MgGa2O4、MgIn2O4、ZnGa2O4、ZnIn2O4、CdAl2O4、CdGa2O4、CdIn2O4、SiCd2O4、GeMg2O4、GeZn2O4、GeCd2O4、SnMg2O4、SnZn2O4或SnCd2O4。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,所述AB2O4為MgAl2O4、ZnAl2O4、SiMg2O4或SiZn2O4。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,所述磁性隧道結(jié)具有單勢壘或雙勢壘結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,單勢壘的磁性隧道結(jié)多層膜的結(jié)構(gòu)由下至上依次包括:
襯底;
緩沖層;
第一磁性層;
勢壘層;
第二磁性層;
覆蓋層;
其中第一磁性層和第二磁性層的矯頑力不同,調(diào)節(jié)矯頑力大小可以采用交換相互作用、形狀各向異性、埋入永磁的方法。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,所述第一磁性層和第二磁性層由鐵磁性材料、半金屬磁性材料或稀磁半導(dǎo)體材料制成,或由這些磁性材料與反鐵磁材料、非磁性金屬組成的復(fù)合層制成,第一磁性層和第二磁性層的厚度為1~50nm,該第一磁性層和第二磁性層的材料和厚度相同或者不同。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,雙勢壘的磁性隧?道結(jié)多層膜的結(jié)構(gòu)由下至上依次包括:
襯底;
緩沖層;
第一磁性層;
第一勢壘層;
第二磁性層;
第二勢壘層;
第三磁性層;
覆蓋層;
其中第二磁性層比第一磁性層、第三磁性層的矯頑力要小,第一磁性層和第三磁性層的矯頑力可以相同也可以不同,調(diào)節(jié)矯頑力大小可以采用交換相互作用、形狀各向異性、埋入永磁的方法。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁性隧道結(jié),其特征在于,所述的第一、第二和第三磁性層由鐵磁性材料、半金屬磁性材料或稀磁半導(dǎo)體材料制成,或由這些磁性材料與反鐵磁材料、非磁性金屬組成的復(fù)合層制成,所述的第一磁性層和第三磁性層厚度為1~50nm,第二磁性層厚度為0.5~25nm,其中,三個磁性層的材料和厚度相同或不同,第一和第二勢壘層的材料和厚度相同或不同。
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