[發明專利]新型的分形PGS結構

有效

• 申請號: 201210227598.9
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN102738127A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 劉軍;趙倩
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: H01L23/58
• 分類號: H01L23/58
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 杜軍

1.?新型的分形PGS結構，應用于片上螺旋電感或變壓器，其特征在于：該分形PGS結構位于線圈繞成的電感或變壓器的中心部分，采用底層的薄金屬層，利用分形理論在基本圖形單元的基礎上，構造一階、二階、三階、甚至更高階的圖案接地屏蔽層。

2.如權利要求1所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：所采用的薄金屬層，可以是單層的，也可以是幾層金屬并聯使用。

3.如權利要求1所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：所述的基本圖形單元共有兩種，分別是Ｈ形和十字形，這兩種形狀都是由相互垂直的金屬條和平行的金屬條合并為一體構成。

4.如權利要求3所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：當基本圖形單元為H形時，首先選定一個中心點，構造H圖形最中間的長為L、寬為W的橫向金屬條，起始點為-L/2、-W/2，終點為L/2、W/2，確保L、W變化時，圖形始終位于中心；其次構造垂直于中間金屬條的兩側的豎直的長L的兩個金屬條；然后構造垂直于兩條豎直金屬條的長為L/2的四個金屬條；令所有金屬條寬度W相等，最后把所有的金屬條合并為一體，由此一階圖案接地屏蔽層完成，接地部分由兩側的豎直金屬條的中間部分引出連接到地；H形的基本圖形單元的金屬條的長度L取值范圍為10μm～70μm，寬度W取值范圍為0.12μm～2μm。

5.如權利要求4所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：構造二階圖案接地屏蔽層是在一階圖案接地屏蔽層的基礎上，疊加四個主長度為L/2、次長度為L/4、寬度W不變的Ｈ圖形(13a)；構造三階圖案接地屏蔽層是在二階圖案接地屏蔽層的基礎上，疊加十六個主長度為L/4、次長度為L/8、寬度W不變的Ｈ圖形(13b)。

6.如權利要求5所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：疊加的Ｈ圖形中的金屬條寬度W是可變的。

7.如權利要求3所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：當基本圖形單元為十字形時，首先選定一個中心點，構造兩個相互垂直的長L、寬W的金屬條，起始點為-L1/2、-W1/2，終點為L1/2、W1/2，確保L1、W1變化時，圖形始終位于中心；然后把兩個金屬條合并為一體，一階圖案接地屏蔽層完成，接地部分由十字形的四個頂點部分引出連接到地；十字形的基本圖形單元的金屬條長度L1取值范圍為40μm～120μm，寬度W1取值范圍為0.12μm～4μm。

8.如權利要求7所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：構造二階圖案接地屏蔽層是在一階圖案接地屏蔽層的基礎上，在L1/4處疊加四個長度為L1/2減去一個間距a，寬度為W1/2的垂直金屬條(14a)；構造三階圖案接地屏蔽層是在二階圖案接地屏蔽層的基礎上，在L1/8處和3*L1/8處疊加八個長度為L1/4減去3/2倍的間距a，寬度為W1/4的垂直金屬條14b，在14a上L1/4處疊加八個長度為L1/4減去3/2倍的間距a，寬度為W/4的垂直金屬條(14b)。

9.如權利要求8所述的新型的分形PGS結構，其特征在于：疊加的金屬條寬度W1是可不變的。