[發明專利]一種集成電阻應變片式傳感器的壓電驅動裝置及其制作方法

有效

• 申請號: 201210227383.7
• 申請日: 2012-07-04
• 公開（公告）號: CN102723432A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 陳峰
• 申請（專利權）人: 陳峰
• 主分類號: H01L41/04
• 分類號: H01L41/04;H01L41/24
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 高媛

1.一種集成電阻應變片式傳感器的壓電驅動裝置，其特征在于：所述驅動裝置包括疊層堆式壓電陶瓷（1）和電阻應變片式傳感器（2），所述疊層堆式壓電陶瓷（1）的形狀為矩形，形狀為矩形的疊層堆式壓電陶瓷（1）的兩個相對的第一長側表面（1-3）上分別具有一個電極引線（3），形狀為矩形的疊層堆式壓電陶瓷（1）的與兩個第一長側表面（1-3）分別相鄰的另外兩個第二長側表面（1-4）上同時粘接有電阻應變片式傳感器（2），或所述兩個第二長側表面（1-4）上的任意一個第二長側面（1-4）上粘接有電阻應變片式傳感器（2），電阻應變片式傳感器（2）的基底粘接第二長側表面（1-4）上，電阻應變片式傳感器（2）上焊接有位于兩個第一長側表面（1-3）中的任意一個長側面的引線（A）。

2.根據權利要求1所述的一種集成電阻應變片式傳感器的壓電驅動裝置，其特征在于：所述的電阻應變片式傳感器（2）均為金屬絲式電阻應變片式傳感器。

3.一種實現權利要求1的集成電阻應變片式傳感器的壓電驅動裝置的制作方法，其特征在于：所述制作方法的具體步驟為：

步驟一、預處理，將疊層堆式壓電陶瓷（1）的表面及電阻應變片式傳感器（2）的表面均擦洗，擦洗后放置干燥；

步驟二、定位，利用劃針在疊層堆式壓電陶瓷（1）的與兩個電極引線（3）所在的第一長側表面（1-3）分別相鄰的兩個第二長側表面（1-4）上同時劃出或任意一個第二長側面（1-4）上劃出電阻應變片式傳感器（2）的粘貼區域（1-2），將粘貼區域（1-2）清洗并及時擦干；

步驟三、粘貼，將電阻應變片式傳感器2粘貼在經步驟二確定的各自的粘貼區域（1-2）內；

步驟四、固化，夾緊步驟三中已粘貼的電阻應變片式傳感器（2），將粘貼有電阻應變片式傳感器（2）的疊層堆式壓電陶瓷（1）放入烘干箱中固化；

步驟五、檢查，檢查經步驟四固化后的電阻應變片式傳感器（2）的粘貼質量；

步驟六、引線焊接，在經步驟五檢查好后的電阻應變片式傳感器（2）的焊點處焊接引線，即制得集成電阻應變片式傳感器的壓電驅動裝置。