[發(fā)明專利]一種噴淋裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210226886.2
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103506340A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王波雷;吳儀;李偉;王浩;張豹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B05B17/06;B05B15/08
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及噴淋裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種噴淋裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈，各大半導(dǎo)體廠商對(duì)設(shè)備的性能和生產(chǎn)效率要求越來(lái)越高。清洗機(jī)在半導(dǎo)體廠所有設(shè)備中所占比重為最大，近些年來(lái)單片清洗設(shè)備在硅片清洗中應(yīng)用的越來(lái)越廣泛。單片清洗設(shè)備在清洗硅片的工藝中用到水、堿性試劑、酸性試劑以及甩干過(guò)程中用到氮?dú)獾?，此外由于?biāo)準(zhǔn)1號(hào)液配合兆聲波能場(chǎng)能產(chǎn)生良好的清洗效果，使得兆聲波清洗的應(yīng)用也頗為廣泛。在當(dāng)前單片清洗設(shè)備中的藥液噴淋系統(tǒng)中多是將水、藥液、氣體以及兆聲波發(fā)生器等分成多個(gè)獨(dú)立的單元來(lái)完成整個(gè)硅片的清洗工藝。每個(gè)獨(dú)立的單元在生產(chǎn)工藝過(guò)程中獨(dú)立運(yùn)動(dòng)存在以下不足：（1）會(huì)造成整個(gè)工藝過(guò)程不連貫；（2）多個(gè)獨(dú)立單元分別控制會(huì)使得控制過(guò)程過(guò)于復(fù)雜；（3）多個(gè)獨(dú)立單元造成設(shè)備維護(hù)困難；（4）多個(gè)獨(dú)立單元會(huì)增加設(shè)備的故障發(fā)生概率。鑒于此，我們需要有新型的藥液噴淋系統(tǒng)來(lái)解決這些問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種噴淋裝置，可使整個(gè)清洗工藝過(guò)程連貫，減少制造成本、以及設(shè)備故障發(fā)生率并且可降低維護(hù)費(fèi)用。

（二）技術(shù)方案

本發(fā)明提供一種噴淋裝置，包括：噴淋頭、旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)和用于容納噴淋藥液的盛接槽，所述噴淋頭通過(guò)旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)與升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接。

更好地，所述噴淋裝置還包括：用于固定噴淋頭的固定架，所述固定架與旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接；所述固定架邊緣平均設(shè)有至少三個(gè)調(diào)平螺釘。

更好地，所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括：擺臂、旋轉(zhuǎn)軸、聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述擺臂一端與所述固定架連接，另一端與所述旋轉(zhuǎn)軸上端連接，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端通過(guò)所述聯(lián)軸器與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。

更好地，所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括：升降電機(jī)和安裝于所述升降電機(jī)上的滑動(dòng)塊。

更好地，所述噴淋頭包括：進(jìn)液或進(jìn)氣孔、用于與所述固定架固定連接的連接孔、集成在噴淋頭主體內(nèi)部的兆聲波發(fā)生器、噴淋孔、噴淋孔流道和用于所述兆聲波發(fā)生器穿線和穿管的穿線孔；所述進(jìn)液或進(jìn)氣孔與所述噴淋孔流道連接；所述噴淋頭材質(zhì)為防腐蝕材料。

更好地，所述噴淋孔流道為光滑圓柱面或曲面或不規(guī)則表面。

更好地，所述每個(gè)噴淋孔流道與至少2個(gè)噴淋孔相對(duì)應(yīng)。

更好地，所述噴淋孔為直孔、錐孔或不規(guī)則孔。

更好地，所述盛接槽包括：內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽、外側(cè)溢流槽、進(jìn)液孔和排液孔，所述噴淋頭在起始位置時(shí)浸于盛接槽的內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽內(nèi)；所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)為電動(dòng)或者氣動(dòng)。

更好地，所述噴淋頭集成多個(gè)兆聲波發(fā)生器，所述兆聲波發(fā)生器的半徑大于被噴淋物體的半徑。

（三）有益效果

本發(fā)明的噴淋裝置，可使整個(gè)清洗工藝過(guò)程連貫，減少制造成本、以及設(shè)備故障發(fā)生率并且可降低維護(hù)費(fèi)用。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明噴淋裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2a為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭與固定架連接面結(jié)構(gòu)圖；

圖2b為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭噴灑面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2c為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭縱剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明噴淋裝置的盛接槽剖面立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明噴淋裝置的固定架結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明噴淋裝置工藝開(kāi)始時(shí)起始位置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明噴淋裝置工藝過(guò)程時(shí)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。